中古 LAM RESEARCH 9608 PTX #9207997 を販売中

LAM RESEARCH 9608 PTXは、半導体デバイスの製造に使用される高度なエッチャー/アッシャーです。ハイエンドのエッチングとアッシング性能を実現し、優れた機能とデバイスレベルの機能を提供します。LAM 9608 PTXには、フォトリソグラフィ源と結合した回転可能なエンドエフェクタプラットフォームを含む原子炉室があります。これにより、基板全体にプラズマを正確に供給することができ、設計の正確なパターニングが可能となり、0。05ミクロンの構造が作成されます。LAM LAM RESEARCH 9608 PTXは、高度なサブ50nmプロセスの要求を満たすように設計されています。これは、温度分布のより良い制御と均一性を可能にするチャンバー内の8ゾーン温度制御を持っています。これにより、エッチングとアッシングのプロセスを正確に制御することができ、高い精度と均一性を実現します。LAM 9608 PTXは、さまざまなエッチング技術を可能にする幅広いプロセス条件を備えているため、プロセス開発や追加ハードウェアの必要がありません。また、危険なアクティブガスセンサー、安全性とインターロック、および運転中に危険なガスが排出されないようにする内蔵のガスフィルターなど、多くの重要な安全機能を備えています。全体として、LAM RESEARCH 9608 PTXは半導体デバイスの製造に使用される高度なエッチャー/アッシャーです。優れた精度と高い安全性、幅広いプロセス条件を提供します。最終的には、ハイエンドのエッチングとアッシング性能が一貫して提供され、高品質の半導体デバイスが生産されます。