中古 LAM RESEARCH 9600 #9399061 を販売中

LAM RESEARCH 9600は、生産アプリケーション向けに特別に設計されたハイエンドのマルチチャンバー、バッチ寸法エッチャー/アッシャーです。これは、利用可能な最も先進的なエッチャー/アッシャーの1つであり、個々のプロセス要件を満たすように構成することができる複数の処理チャンバを介して広範な柔軟性とプロセス能力を提供します。この装置は、高収率のプラズマ強化ケミカルエッチング（PECVD）を使用して、幅広い材料を選択的にエッチングまたはアッシャーします。9600は、多層相互接続、半導体部品、およびその他のパターン化された基板からサブミクロン次元まで、正確で高スループットエッチングとアッシングを可能にします。このシステムのチャンバ構成の柔軟性は、最大のプロセス能力と柔軟性を提供し、複数のウェーハの並列処理と複数のカセットのスタッキングとロードを可能にします。LAM RESEARCH 9600の精密で調節可能なケミカルエッチングにより、ウェーハ製造の歩留まりと効率が向上します。プラズマ強化化学蒸着、化学蒸着、反応イオンエッチングなど、選択可能なソースとローディングシステムなど、最新かつ最先端のエッチング技術を備えています。温度、圧力および化学流量のコントローラー；そして改善された安全および維持のための高度のガスの流れおよび排気制御の単位。9600はまた、プロセスパラメータとエラー記録、ウェーハの位置決めと監視ツール、完全に自動化されたエンドポイント監視、および柔軟なユーザー定義プロセスレシピを提供する高度な制御マシンを備えています。その直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）は、簡単で改善されたユーザーエクスペリエンスとメーカーインターフェイスを提供します。LAM RESEARCH 9600は、生産アプリケーションの厳格で高速なタイムラインを満たすように設計されています。それは100％のきれいな温度、圧力およびプロセス部屋の状態、また実時間プロセス制御のフィードバックおよびフィードバックの読取りを提供します。バッチプロセスマシンとして構成されており、オペレータ定義のプロセスレシピとオートメーション設定により、1時間あたり最大200ウェーハの迅速な処理が可能です。9600は、最小限のメンテナンスを必要とする非常に堅牢な運用資産で設計されており、安全で簡単なオンザフライ調整を備えたユーザーフレンドリーです。このモデルは厳格なESD規格に適合しており、100％クリーンな温度と排気チャンバ、プロセスチャンバーシール、およびその他の安全機能を使用することにより、すべてのウェーハに汚染物質がないことを確認しています。リアルタイムプロセスモニタリング装置とエンドポイント警報システムを搭載し、プロセス制御を改善します。