中古 LAM RESEARCH 9600 #9354013 を販売中

LAM RESEARCH 9600エッチャー/アッシャーは、完全に自動化された超高スループット、最先端のエッチャーおよびアッシャーです。幅広い基板加工が可能なマルチチャンバー装置です。9600は、無人の長いプロセスを維持しながら、非常によく機能するように構築されています。LAM RESEARCH 9600は、複数のレシピ依存プロセスを同時にサポートするように設計されています。これは、可変または異なるプロセスを連続的に実行する必要がある製造環境で非常に有用です。9600は、エッチング、パッシベーション、アニーリングなどの3つの主要プロセスを柔軟に選択できます。この柔軟性は、4つの統合されたプロセスチャンバーによって可能になり、それぞれが最大4つのウエハに対して個々のプロセスを実行することができます。エッチングチャンバーは、フッ素、三塩化ホウ素、酸素、三フッ化窒素、六フッ化硫黄、二酸化窒素などの複数の化学ガスの使用を可能にするという点で、ユニークです。パッシベーションチャンバーは、蒸気化学プロセスを実行するように設計されており、熱、湿度、化学汚染から保護する層でウェーハを処理します。LAM RESEARCH 9600は、最高のスループットを提供するために、垂直および水平の伝達メカニズムを備えています。水平転送オプションは自動負荷/アンロードプラットフォームであり、プロセスチャンバ間の材料の高速移動を可能にします。これは、大きなバッチサイズを扱うときに特に便利です。9600は、各プロセスチャンバー全体の温度、圧力、ガスの流れを超精密制御します。この精密な制御により、正確な深さと幅の公差で、非常に精密な機能を作成できます。統合された計測モニタは、システム全体のプロセスパラメータを追跡し、より高い歩留まり、サイクルタイムの短縮、プロセスの最適化を可能にします。LAM RESEARCH 9600は、業界で実績のあるLinux®オペレーティングユニットを備えた強力なx86ベースのCPUを搭載し、最大200のレシピを管理できます。安定した反復可能な結果は、手動による介入を最小限に抑えて、最高のエッチングとパッシベーション品質を保証します。9600は、信頼性の高い効率的なエッチャー/アッシャーを必要とする人々のための堅牢なソリューションです。多面体マシン、精密制御、自動負荷/アンロードプラットフォームは、今日の複雑なエッチングおよびパッシベーションプロセスの要求を満たすために必要な機能を提供します。