中古 LAM RESEARCH 9600 #9243611 を販売中

LAM RESEARCH 9600は、集積回路の製造における半導体ウェーハおよび基板のエッチング、パッシベート、洗浄用に設計された高精度エッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、ウェハレベルのデータ解析やトレーサビリティに最適化されたマルチステージプロセスやソフトウェアシステムのサポートなど、優れた基本的な精度の正確な材料処理を可能にする幅広い機能を備えています。9600は、劇的な内部分解能と再現性を備え、最大6インチ（厚さ1。5 μ m）の基板を処理できます。統合されたマイクロプロセッサ制御ガス制御および分配ユニットは、機械パラメータの正確な制御と正確な化学供給を提供します。このツールは、精密な化学供給、正確なマスキング操作、および最先端のウェハレベルのデータ分析において比類のない機能を提供します。LAM RESEARCH 9600は、最先端の半導体材料加工アプリケーション向けに設計されています。それは自動化された化学薬品配達、精密な、再現可能な温度調整、精密な、制御された化学温度、精密な、制御されたガス圧力、および精密な、制御された出力を支えます。このエッチャー/アッシャー資産には、超高精度のデュアルヘッドガスデリバリーモデル、高精度の自動アライメント装置、9600専用に開発されたさまざまな特許取得済みの高度なエッチング、パッシベーション、クリーニングレシピなど、多くのユニークな機能が搭載されています。LAM RESEARCH 9600は、正確かつ再現可能な結果を提供するために、高度で統合されたマイクロプロセッサ制御オペレーションシステムを搭載しており、さまざまなレシピやプロセス条件に自動的に適応しています。内部ガス流量制御ユニットと高精度メータリングマシンが組み合わされ、エッチング、パッシベーション、クリーニング操作の正確な制御を提供します。9600はまた、データロギングと高度な品質データ分析のための高度なソフトウェアシステムを提供します。このツールは、基板リソグラフィの自動整列、追跡、および高度な品質管理のために最適化されています。既存の機能に加えて、LAM RESEARCH 9600では、カスタムインストールオプションや、リアルタイムのプロセス制御やデータ分析機能などの高度なメンテナンスパッケージも提供しています。9600は、先進的な材料加工作業のための信頼性が高く、汎用性が高く、費用対効果の高いソリューションです。高精度のガス供給と高度なソフトウェアシステムを組み合わせることで、幅広いプロセス条件で信頼性と再現性の高い結果を提供することができる信頼性の高い資産を提供します。