中古 LAM RESEARCH 9600 #9242599 を販売中

LAM RESEARCH 9600は、半導体ウェーハのエッチングとアッシングのための先進的なプラットフォームです。この装置は、ロードロック、プロセスチャンバー、排気システムで構成され、比類のないツールと精度を提供します。ロードロックは真空密閉されたチャンバーで、半導体ウェーハを無汚染状態で安全に装填することができます。ロボットメカニズムを使用して、ウェーハをロードロックからプロセスチャンバーに移動させます。ロボットメカニズムは、ウェーハの適切な取り扱い、セキュリティ、精度を確保するために高度な機械的原理を使用しています。ロードロックは、処理されるウェーハの種類に基づいて、さまざまなトランスポートに構成することができます。プロセスチャンバーは、アプリケーション固有の環境です。これは、アプリケーションの特定の要件に応じてエッチングまたは灰プロセスが行われる場所です。このチャンバーは精度、精度、再現性を考慮して設計されており、エッチングまたはアッシュされたウェハごとに信頼性と再現性の高い結果が得られます。排気ユニットは、使用済み材料を避難させ、均一なプロセス条件を作り出すために使用されます。エキゾーストマシンは、化学エッチング、吸着、ろ過およびガスの組み合わせを利用して、工具から粒子や他の種類の汚染物質を除去します。サイクロン分離器は、通常、粒子状物質の収集と除去に使用されます。9600は優れたエッチングとアッシング資産です。一貫して正確なプロセスを提供するために構築されています。コンポーネント、ロードロック、プロセスチャンバー、排気モデルの洗練された組み合わせにより、高精度、コスト削減、堅牢な性能を実現します。これにより、LAM RESEARCH 9600は、半導体エッチングおよびアッシングウエハにおいて優れた信頼性の高い選択肢となります。