中古 LAM RESEARCH 9600 #9233030 を販売中

LAM LAM RESEARCH 9600は、高度な加工技術のための柔軟性とパフォーマンスの究極を提供するエッチャー/アッシャーです。本装置は、ウェハ製造からディスクドライブ製品開発までのアプリケーションに最適です。デュアルビームモジュラープロセスチャンバーを使用して、あらゆるパターンの信頼性と効率的な処理を可能にする統合エッチャー/アッシャーです。LAM 9600は、均一なエッチング深さと正確な材料処理を提供する最先端のプロセスチャンバーを備えており、ユーザーはあらゆる基板をエッチングまたはアッシャーする力を提供します。この高度なチャンバーは、最大のプロセス制御と全体的なシステムの柔軟性を可能にします。LAM LAM RESEARCH 9600プロセスモジュールは、誘導結合プラズマ（ICP）、反応イオンエッチング（RIE）、電気化学エッチング（ECE）などの高度なプロセスを統合しています。これらのプロセスにより、汚染の少ない高品質のウェーハエッチングが可能になり、プロセスの安定性が向上します。統合された誘電反応チャンバーは、プラズマ電源制御と均一なエッチング深度を提供し、さまざまなエッチングおよびアッシング作業に適しています。9600は急速なRFの出力制御のためのステップアンドリピートユニットが装備されています。ソフトウェアには、複数のソース制御パラメータ、自動リアルタイム動的ガス制御、高精度の仮想温度制御、高度なプロセス制御マッピングマシンが含まれています。これらの機能を組み合わせることにより、このツールは正確で反復可能なエッチング性能を提供します。さらに、このアセットは光学および音響診断機能を提供します。統合された光学モデルはエッチングとアッシングのプロセスを継続的に監視し、音響機器はエッチングパターンの非破壊検査を提供して障害や弱点を検出します。LAM LAM RESEARCH 9600は、金属酸化物エッチング、高アスペクト比エッチング、金属ラインパターニングなど、さまざまな用途に対応します。このシステムは、結晶シリコン、薄膜材料、量子ドットなど、さまざまな基板を処理することができます。このユニットには、イオンソースやオプションの自動サンプルハンドリングマシンなど、多数のオプションパッケージも用意されています。柔軟なプロセスチャンバー、包括的な制御ツール、高度な診断機能を備えたLAM 9600は、高度なエッチング/アッシングアプリケーション向けの完全かつ費用対効果の高いソリューションです。最高のプロセス制御、均一なエッチング深度、信頼性の高い材料処理を提供し、高性能で費用対効果の高い処理を保証します。