中古 LAM RESEARCH 9600 #9210314 を販売中

LAM RESEARCH 9600は、半導体加工のための最先端のエッチャー/アッシャーです。ウェットエッチングプロセスとドライエッチングプロセスの両方を使用して、ユーザーはアプリケーションに最適なものを選択できます。強力でありながらエネルギー効率に優れたパルス電源装置により、シリコン、ヒ素ガリウム、その他のIII-V化合物を含む幅広い基板に対応できます。自動ローディングおよびアンロード・システムにより、一貫したプロセス結果が保証され、スループットが向上します。9600は、信頼性の高い高出力電源、精密プロセス制御用の精密kineコントローラ、および正確な配信のための独立した温度および圧力監視を組み合わせています。これにより、厳しいプロセス許容差と再現性のある結果が得られます。統合されたインターフェイスはユーザーフレンドリーで、ユーザーは複数のプロセスレシピを作成して保存できます。LAM RESEARCH 9600は、3。2、5。3、または7。7インチの直径を選択して、チャンバーサイズの柔軟性などの追加の利点を提供します。これにより、アプリケーションに最適なツールサイズを選択でき、時間とコストの両方を節約できます。チャンバー圧力と温度の広い範囲で、ユニットは、多くの異なる堆積およびエッチングのアプリケーションを処理することができます。9600はまた、統合された緊急シャットオフスイッチや漏れ検出用の低流量アラームなどの高度な安全機能を備えています。さらに、オプションのベースバキュームモジュールにより、高速かつシームレスな基板ローディングとアンロード、およびプロセスオフセット補正が容易になります。これらの機能は、LAM RESEARCH 9600の堅牢なアーキテクチャとパフォーマンスによって、最大のプロセススループットと再現性のあるパフォーマンスを保証します。9600は、多くの半導体加工アプリケーションに対応する汎用性と信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。LAM RESEARCH 9600は、パワフルでエネルギー効率の高いパルスパワーマシン、広範囲のチャンバーサイズ、温度および圧力設定、高度な安全機能により、信頼性の高いプロセス結果と最適化されたスループットを保証します。