中古 LAM RESEARCH 9600 #9204380 を販売中

LAM RESEARCH 9600は、ウエハーと基板の両方を専門材料で処理するように設計されたエッチャー/アッシャーです。この機械は異なったプロセス条件に適用を合わせるためにカスタマイズすることができます。半導体集積回路の生産を革新、簡素化、最適化するプロセスアプリケーションのグローバルプロバイダーであるLAM RESEARCHによって製造されています。9600は柔軟性、最先端の性能、および低い処理コストを提供します。これは、各チャンバーで異なる処理手順を実行できるマルチチャンバーシステムです。これにより、幅広いプロセスを実行することができ、機械を非常に汎用性の高いものにします。LAM RESEARCH 9600はまた、非常に低い動作温度で高いスループットと均一性を提供し、粒子汚染を低減し、製品歩留まりを向上させます。9600に源のふた、基質のテーブル、可変的なプロセス部屋および排気システムがあります。ソース蓋には、基板の効率的な積み下ろしのためのグリッドプレートとシャッターメカニズムが含まれています。基板テーブルは安定性と再現性のために設計されており、複数のプロセスチャンバーを備えています。可変プロセスチャンバーは、ユーザーがコントローラからの処理条件を調整できるように設計されています。それはモーターを備えた上昇を特色にし、基質の荷を積み、荷を下すためのロードロック部屋へのドアを備えています。排気システムは、効率的なポンプダウンとフッ素や塩素を含む排水のクリーンアップのために設計されています。LAM RESEARCH 9600は、3インチから8インチまでのウエハサイズの基板を加工するためにカスタマイズすることができ、最大24基板の容量があります。自動化されたシステムで、ロボットアームメカニズム、デュアルロボット、基板ソートを備えています。9600は、モジュールの状態の監視、プロセスレシピの編集と調整、およびさまざまなプロセスグラフパラメータのプロットを可能にするコンピュータ制御インターフェイスを備えています。また、炭化ケイ素、石英、アルミナ処理能力も備えています。全体として、LAM RESEARCH 9600は高品質のエッチャー/アッシャーであり、精度と制御環境を必要とするプロセスに経済的なソリューションを提供します。高度に自動化されており、プロセス条件を調整できるため、多くのアプリケーションに最適です。