中古 LAM RESEARCH 9600 #9186503 を販売中

LAM RESEARCH 9600は、高精度のエッチングとアッシングプロセスを容易にするように設計された高度なエッチャー/アッシャーです。9600は実質的にあらゆる材料をエッチングすることができ、稼働時間とプロセスの柔軟性を最大化するためにモジュラーチャンバー設計を利用しています。複数のソースおよびシンクモジュールを搭載しているため、正確で高スループットエッチングとアッシングプロセス、最大75 μ mのエッチング厚と2 nm未満の低エネルギーアッシングの深度プロファイリングが可能です。高度なサイクルコンピュータと強力なソフトウェアスイートは、完全な制御と正確な結果を提供し、正確なサイクリングとプロセス最適化のために簡単に構成できます。LAM RESEARCH 9600の先進的な真空モニタリングおよび制御システムは、粒子放出が少ない精密なエッチングおよびアッシング条件を保証し、チャンバーとウェーハ環境の両方をクリーンに保ち、最大の歩留まりを実現します。また、オプションのロードロックを備えており、他の機器と完全に統合して最大限の柔軟性を実現します。9600は、簡単な操作と制御のために自動化されています。全体として、LAM RESEARCH 9600は、半導体、パッケージング、およびディスプレイ産業のニーズに対応するために、信頼性が高く正確で高精度なエッチング/アッシングソリューションを提供します。