中古 LAM RESEARCH 9600 #293822608 を販売中

LAM RESEARCH 9600は、プラズマ強化化学蒸着エッチャー/アッシャーで、小型・大型基板の高品質、高スループットエッチングおよびアッシングを実現します。この高度なエッチャー/アッシャーは、プロセスの再現性を向上させ、さまざまな基板材料やプロセスを処理するように設計されています。9600は、ウェーハ表面全体にガスが均一に分布するように、特許取得済みの均一な設計で設計されています。また、両面ガスデリバリーシステムを備えており、エッチングとアッシングのプロセスをより正確に制御できます。このエッチャー/アッシャーは、デュアルデカップリングされたエンドポイント技術を備えており、シングルエンドシステムよりもエッチングの深さ、レート、選択性をより高いレベルで制御できます。また、LAM RESEARCH 9600は、より高い可用性と低消費電力、およびより高いスループットを実現するため、ウェーハ/平均化電力密度比が高くなります。9600は、さまざまな柔軟なプロセスパラメータ上でエッチング処理を可能にするために、リモートプラズマソースを追加して設計されています。リモートプラズマソースはエッチャー/アッシャーに統合され、ユーザーはリアルタイムでプロセスパラメータを調整できます。これらのプロセスパラメータには、エッチング率、選択性、およびオーバーエッチング/アンダーカットが含まれます。この統合により、プラズマ源を追加する必要がなくなり、サイクルタイムが短縮されます。LAM RESEARCH 9600は、正確なモーションコントロールと再現性を実現するマルチゾーンアレイモーターポジショナを搭載しています。これにより、各エッチング/灰サイクルにおいてウェーハが均一に移動することが保証されます。ポジショナーはまた、ゲートバルブやシャッターの動きなど、処理サイクルの他の側面にもモーションコントロールを提供します。9600は統合されたプロセス監視および診断システムとプロセス性能のリアルタイムのフィードバックを提供するように設計されています。このフィードバックは、最適な結果を保証し、機器のダウンタイムを最小限に抑えるために使用されます。この統合ツールは、イベントログやエラー検出などのさまざまな機能も備えています。LAM RESEARCH 9600は、ロードロックや冷却ガスディストリビューターなど、さまざまなオプションの周辺部品で設計されています。これらのコンポーネントにより、ユーザーはプロセスをさらにカスタマイズし、プロセスのパフォーマンスを向上させることができます。エッチャー/アッシャーのその他の機能には、接着防止システム、高速開放時間、幅広いプロセス温度が含まれます。全体的に9600は、プロセスの再現性を向上させ、優れた品質を提供するように設計された高度なエッチャー/アッシャーです。オプションの周辺機器や高度なプロセスモニタリング機能を備えた高性能コンポーネントと機能を備えており、優れたエッチングとアッシング性能をユーザーに提供します。