中古 LAM RESEARCH 9600 SE #9172340 を販売中

LAM RESEARCH 9600 SEは、各種半導体デバイスの材料表面の加工・洗浄に使用されるエッチャー/アッシャーです。ロータリーエッチングウェットステーションで、幅広い素材に精密かつ高速なエッチング処理を提供します。それは使いやすく、維持するように設計されている経済的で、信頼できる装置です。このシステムには、高スループットと再現性を実現する200 mmウェハハンドラ、内部ルータ、高速処理用の高度なクリーニングモジュールが内蔵されています。人間工学に基づいた設計は自動破片のローディング、読みやすいLCD表示および便利な上マウントされた発煙のフードが付いている安全で、快適なワークスペースを提供します。大きなチャンバーサイズと12個のノズルを使用することで、高い再現性と高いスループットで効率的かつ正確なエッチングが可能です。LAM RESEARCH 9600SEは、標準および低温処理を含むウェットまたはドライエッチング処理が可能です。半導体ウェーハ、シリコン、石英、ガリウムヒ素など、幅広い材料や基板に対応しています。また、流量と組成を制御し、プロセスの均一性と再現性を確保するガス供給ユニットを備えています。このマシンには、ツール制御、パラメータ調整、データ分析、および各エッチング実行の完全なトレーサビリティを提供する包括的なソフトウェアも付属しています。この洗練されたソフトウェアは、リアルタイムの結果データをユーザーに提供し、エッチングプロセスの問題の通知、アラームメッセージ、資産のシャットダウンも提供します。9600 SEは、幅広い材料に高速で信頼性の高い表面処理を提供する工業用グレードのエッチングウェットステーションです。直感的なユーザーインターフェイスにより、非常に再現性が高く効率的です。洗練されたソフトウェアと洗練された機能は、モデルが期待される結果を提供できることを保証します。チャンバーサイズが大きく、ウエハハンドラが内蔵されているため、大量処理に最適です。