中古 LAM RESEARCH 9600 SE #293752314 を販売中

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エッチャー／アッシャー

製造業者

LAM RESEARCH

モデル

9600 SE

装置の詳細
レビュー

ID: 293752314

ウェーハサイズ: 6"

Etcher, 6" Robot type: Shuttle film Molecular sieve Gases: CL2, BCL3, O2, HE, SF6, N2, CF4 (2) Chambers: Used for etching and glue remover Missing parts: Load / unload index End point detector.

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