中古 LAM RESEARCH 9600 FEFG #9183635 を販売中
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ID: 9183635
ヴィンテージ: 1998
Metal etcher
Software version: Version E1.5
CIM: Ok
Main chamber:
(1) Turbo pump 1000 litre with controller
(1) E-chuck
(1) TCP RF Match
(1) Bias RF match
(2) RF Generators
(1) CL2 MFC: 180 sccm
(1) BCL3 MFC: 50 sccm
(1) SF6 MFC: 200 sccm
(1) N2 MFC: 100 sccm
(1) O2 MFC: 250 sccm
(1) Ar MFC: 100 sccm
(1) He UPC: 50 sccm
Strip chamber:
(1) DSQ RF Match
(1) Heater paddle
(1) RF Generator
(1) Auto WVDS controller
(1) O2 MFC: 2000 sccm
(1) N2 MFC: 300 sccm
(1) H2O MFC With controller: 500 sccm
Rinse / Dry:
(1) Spin dryer with vacuum chuck
Transport:
(2) Integrated SMIF
(1) Wafer notch aligner with spatula
(2) Harmonic arm drive assemblies
Currently warehoused
1998 vintage.
LAM RESEARCH 9600 FEFGは、ウェーハとフラットパネルディスプレイの両方の製造用に設計された高度なエッチャーです。それは大量生産のための優秀な選択であり、それをあらゆる生産ラインのための理想的な解決にする広い特徴があります。9600 FEFGは高精度エッチング装置で、金属、半導体、メガネなど多種多様な材料を精密にエッチングします。このツールは、さまざまな深さと非常に特定の形状で選択的にエッチングすることもできます。このツールはまた、堅牢なプログラマビリティと高スループットを提供し、最適な生産性を提供するように設計されています。LAM RESEARCH 9600 FEFGの主な特徴は、モーション制御装置の統合です。このシステムは連続的な、完全な操作および優秀な性能を保障し、エッチングの精密方向そして位置制御を提供します。モーションコントロールユニットは、プログラマビリティも向上し、最適な操作とスループットの向上を可能にします。さらに、統合されたレーザーと組み合わされたツールの高度な光学系は、エッチャーラインが正確かつ均一にエッチングされることを保証します。レーザーは、アプリケーションに応じて、異なるパターンでエッチングするように設定することができます。レーザーはまた、ラインがエッチングされている場所の非常に詳細な画像を提供し、深さの正確な測定と細かいライン間隔の正確な識別を可能にします。安全面では、9600 FEFGは緊急停止機能やモーションコントロールマシンロックアウトなどの高度な保護対策を提供しています。これにより、ツールを安全かつ過度のリスクなしに操作できるようになります。さらに、このツールは非常に直感的なタッチスクリーンインターフェイスを備えており、エッチャーを簡単かつシームレスに制御できます。インターフェースには、エッチング処理の詳細な視覚表現も表示され、オペレータは視覚イメージとエッチプロファイルを関連付けることができます。LAM RESEARCH 9600 FEFGは、ウェーハやフラットパネルディスプレイの製造に適した強力で信頼性の高いツールです。それは精密制御、容易にプログラム可能性、堅牢な安全機能および非常に直感的なインターフェイスを提供します。これは9600 FEFGをあらゆる生産ラインのための優秀な選択にします。
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