中古 LAM RESEARCH 9400 #9399063 を販売中

LAM RESEARCH 9400は、半導体業界の厳しい要件を満たすように設計された先進技術エッチャー/アッシャーです。生産レベルのアッシング、エッチング、蒸着プロセスを提供しながら、最大限の汎用性と柔軟性を提供するように設計されています。9400はハイエンドのパフォーマンスと低コストの運用を兼ね備えており、お客様は生産作業を最適化し、コスト、無駄、ダウンタイムを削減できます。LAM RESEARCH 9400は、最高のパフォーマンスと最低の所有コストを提供するために、さまざまな先進的な技術と機能を備えています。イオンビーム電流とエネルギー精度は業界で比類のないものであり、最も繊細で複雑な層構造をエッチングするのに理想的な選択肢です。このシステムは、自動プロセス制御、リアルタイムのセットポイント調整、部品識別などのいくつかの技術と機能を利用して、加工中の精度と再現性を保証します。さらに、9400は独自の高温プロセスベースのフローコントローラとダイレクトドライブモータを備えており、アッシング、エッチング、蒸着速度、効率、サイクルタイムを最適化します。LAM RESEARCH 9400には、迅速なプロセスレシピ変更のための制御ガス分配用の統合ガスキャビネットと、高スループットガス混合機能が含まれています。このシステムは、部品サイズやレシピの複雑さにかかわらず、一貫したエッチング、エッチング、成膜プロセス条件を維持する自動プロセスフローコントローラ（PFC）を使用して、半導体業界の最も厳しい要件を満たすように設計されています。このシステムは、ファブアウトガスや過剰な粒子生成を低減しながら、堅牢で信頼性の高いプロセスソリューションを提供するように設計されています。クイックチェンジウェーハローディング構成により、生産が途切れることなく維持され、チャンバーはメンテナンスと修理に簡単にアクセスできるように設計されています。9400は、LAM RESEARCH包括的プロセスサポートプログラムによってバックアップされ、最高のパフォーマンスと最大の投資収益率を確保します。