中古 LAM RESEARCH 9400 #9250095 を販売中

LAM RESEARCH 9400は、高精度のエッチングおよび堆積プロセスを実行するように設計された高度なプラズマエッチャー/アッシャーです。複数のエッチングモードをサポートし、高い選択性と均一性を備えた高精度エッチングを可能にする先進的な装置です。これは非常に汎用性が高く、個々のプロジェクトの特定のエッチング要件に適合する多数のハードウェアおよびソフトウェア構成を備えています。9400は高度に統合された制御システムを備えており、エッチングプロセスのセットアップと操作を簡素化するユーザーフレンドリーなインターフェイスを提供します。ウェーハの積み降ろしが容易なロードロックチャンバーと、ウェーハの多方向移動を可能にする回転基板キャリアが付属しています。モーターを備えた高さ調整と完全にプログラム可能なエッチングレシピ制御とレーザー干渉計のモーションコントロールの組み合わせにより、ユーザーはエッチング性能を正確に制御できます。プロセスモニタリングと制御は、機械に直接組み込まれた専用のプロセスセンサーで可能になります。これらのセンサは、RF電源、プロセスチャンバー圧力、ウェーハ温度などの変数を測定します。プロセスパラメータのフィードバックを提供し、不要なガスや圧力関連の異常をユーザーに警告することで、一貫したエッチング性能を確保するのに役立ちます。LAM RESEARCH 9400はまた、ツール内の汚染を検出する高度なセンサーを備えています。これらのセンサは複雑なアルゴリズムを使用して、潜在的な材料沈着と腐食性の蓄積を検出し、ユーザーにプロセス環境のリアルタイムデータを提供し、潜在的な問題に迅速に対処することができます。全体として、9400は高度な精密エッチング（特にIII-V、 HfO2、 SiO2などの材料）のための優れたエッチングツールです。堅牢で統合された制御資産、高度な監視および制御機能、およびウェーハのロードとアンロードを簡単にするロードロックチャンバーを備えています。このモデルで可能なエッチングプロセスの耐久性と長さを追加すると、ユーザーは自分のプロジェクトが良好であることを確認することができます。