中古 LAM RESEARCH 9400 #9250094 を販売中

LAM RESEARCH 9400は高度なエッチャー/アッシャー装置です。ウェーハ加工に最適な歩留まりとスループットを実現する最先端の技術で設計されています。アプリケーション固有の幅広いプロセスを誇るコンパクトでハイスループットシステムです。9400は、最大限の制御と柔軟性を提供するように設計されたスケーラブルなアーキテクチャ上に構築されています。これは、高スループットと最高レベルの精度の両方を満たすことができる高性能エッチアルゴリズムによって駆動されます。このユニットは、エッチングパラメータを幅広く取り扱うことができ、ウェーハ全体のプロセス性能を均一に保つためにエッチングレートを自動的に調整することができます。LAM RESEARCH 9400は、低圧、2段の垂直プレートエッチャーを備えています。この設計により、追加のプロセスチャンバーが不要になり、よりコンパクトなマシンが可能になります。このツールはまた、優れた性能と歩留まりを提供するボックスアウトヒーターを利用して、高度なエッチソースを提供します。9400にはプロセスモニタリングアセットが内蔵されており、プロセスサイクル全体でプロセスとツールの整合性を保証します。LAM RESEARCH 9400はまた、ユーザーがウェーハ全体のエッチング処理を監視および制御できる大気スキャナを提供します。高度なガス供給モデルにより、9400は正確で反復可能なエッチプロファイルを提供できます。さらに、LAM RESEARCH 9400は、窒化ゾーンバイゾーンのエッチングや調整可能な電流ランピングなどの特徴を含む、層ごとの均一性コントロールを組み込むことで、繰り返し可能なプロセスを保証します。また、高度なダイツダイ監視機能を備えており、より高いウェーハ歩留まりのためのより良いプロセス制御を提供します。9400は強力なエッチャー/アッシャー装置で、今日の主要な半導体製造技術の厳しいニーズに最適です。LAM RESEARCH 9400は、先進的な材料と技術で構築され、ウェーハ加工において高い歩留まりとスループットを実現する理想的なシステムです。