中古 LAM RESEARCH 9400 #9164962 を販売中

LAM RESEARCH 9400は、半導体製造プロセスなどの重要部品の精密エッチングおよびアッシングに使用される高度な超高真空エッチャー/アッシャーです。9400は、厳密な温度制御と組み合わされた精密で精密な流れと圧力を利用して、低粒子の汚染による精密な処理を実現しています。GaAsとSiの両方の基板に複数の電極構成を使用して動作し、あらゆる基板タイプのドライエッチングにも適しています。LAM RESEARCH 9400は、ウェーハキャリア用のオールメタルロードロックチャンバーと、エッチングとアッシングのプロセスチャンバーを内蔵しており、基板の迅速な積み下ろしが可能です。メインチャンバーは、フィールド透過性の合金窓によってロードロック室から分離され、汚染から究極の保護を提供します。システムのプロセス面は、チャンバー内に取り付けられた2組の電極を使用して処理されます。これらは、ストレートプラズマジェットまたはチャネル化されたRF改変プラズマジェット構成のいずれかで提供され、蒸着速度を制御し、精密なエッチングを可能にし、プロセス中のドリフトを排除するために使用されます。9400は最高レベルの処理精度を作り出すことができ、エッチング速度は毎秒100〜10,000 Angstroms、アスペクト比は40：1までです。また、レシピの完全自動化と精密プロセス監視、制御およびデータロギングにより、最高レベルの後処理制御をサポートしています。LAM RESEARCH 9400には、欠陥の自動シャットオフとアラーム通知、マニュアルおよび基板変更用のオプションの自動ロードロックなど、多くの安全機能も備えています。合計で9400は、最新の技術と最高レベルの精度を結集し、半導体製造ラインに強力なエッチャー/アッシャーを提供します。その優れた性能により、最高級の基板を最高の精度と信頼性で加工することができます。