中古 LAM RESEARCH 9400 #9154664 を販売中

LAM RESEARCH 9400は、LAM RESEARCH Corporationが設計・製造したエッチャー/アッシャーです。半導体業界のエッチングやアッシュウエハーに使用されています。9400は完全に自動化されたシステムであり、いくつかの個々のモジュールとコンポーネントが含まれています。シリコン、カーボン、銅、アルミニウムなど幅広い基材に対応しています。このシステムは、シングルチャンバー構成とマルチチャンバー構成の両方で提供され、大規模生産のためのスループットを向上させます。また、ウェットベンチの統合などの追加機能を使用して、お客様の特定のアプリケーションのニーズに合わせてカスタマイズすることもできます。LAM RESEARCH 9400には、ウェーハの高さと温度を管理する統合プロセスコントローラがあります。アルゴンや酸素などのエッチングやアッシングに様々なガス種を使用しています。顧客の要求に応じて、単相または多相モードで動作できます。自動化されたウェーハ処理機能を備え、最大5つのウェーハを同時に収容できます。9400はクリーンルーム用に設計されており、最も厳しいISO14001基準を満たすように設計されています。0。1ミクロンの粒子を扱うことができます。さらに、冗長ろ過およびガス精製システムを備えており、副生成物および粒子生成を最小限に抑えます。LAM RESEARCH 9400は、直感的なコマンド駆動のタッチスクリーンのグラフィカルユーザーインターフェイスを備えた使いやすさのために設計されています。また、ユーザー定義のプロトコルも備えており、毎日のメンテナンス作業を自動的に実行するようにプログラムすることができます。9400は、エッチングと灰処理のための信頼性の高い効率的なツールです。高度な自動化システムにより、高い歩留まりと品質のウェーハを確保し、一貫したプロセス結果を実現します。その組み込みの安全機能は、クリーンルーム内のオペレータや他のスタッフの安全を確保します。