中古 LAM RESEARCH 9400 #9151550 を販売中

LAM RESEARCH 9400（通称「エッチャー」または「アッシャー」）は、半導体ウェーハ表面から材料をエッチングまたは化学除去するための高精度ツールです。このマシンは、焦点を当てたイオン爆撃（FIB）プロセスを使用して、ウェーハ上のライン、接触開口部、およびその他の機能を高度な均一性と精度でエッチングします。9400は、窒化ガリウム、窒化ガリウム、窒化ケイ素、窒化チタンなど、さまざまな材料で動作するように設計されています。LAM RESEARCH 9400によって生成されるイオンビームは、20ナノメートル（nm）または0。00000002メートルの幅の特徴を形成することができます。9400は、乾式および湿式の両方のエッチングプロセスで動作することができます。ドライエッチングでは、高電圧を使用して強烈なイオンを生成し、焦点を合わせて操作することで、多種多様な形状を高速にエッチングできます。ウェットエッチ操作では、ウェーハ表面から材料をエッチングするのに役立つ化学溶液が使用されます。LAM RESEARCH 9400は高度に自動化され、プログラム可能な機械です。自動送り装置システムにより、ウェーハの連続積み込みと出力を可能にし、人件費の削減と生産サイクル時間の改善に役立ちます。このマシンは、特定のエッチングプロセスを繰り返すようにプログラムすることができ、ユーザーは同じエッチングパターンを素早く何度も再現することができます。このマシンはまた、エッチングプロセスを監視し、一貫した結果を保証するための内蔵の診断ツールを提供します。9400はヨーロッパで設計され、製造され、半導体製造業で広く利用されています。この機械は信頼性が高く、優れた結果を提供できることが証明されており、さまざまな部品や回路基板の製造において貴重なツールとなっています。このマシンはクリーンルーム環境でも動作可能であり、MEMSやMicro-Electro-Mechanical-Systemsなどの機密アプリケーションにとって重要です。