中古 LAM RESEARCH 9400 #9006154 を販売中

LAM RESEARCH 9400
ID: 9006154
Spare parts: Qty - Part No. Description 10 - 716-038612-002 DC PLUG (9100) 89 - 742-008991-001 GASKET EMI(RECT CROSS SECTION)(1PC=1FT) 1 - 853-330281-001 ASSY RF SENSE BOX UPPER MATCH 2 - 799-432042-204 END EFFECTOR 3 - 799-432042-204 END EFFECTOR 2 - 685-094897-001 20MTORR MANOMETER 3 - 685-094898-001 500MTORR MANOMETER 1 - 660-094652-003 ESC POWER SUPPEY 10 - 796-007305-002 SCREW EIFT PIN 39 - 728-094726-012 SCREW ESC EACLOSURE 3 - 685-095610-001 10TORR MANOMETER 2 - 605-092466-002 OPTIC FIBER 1 - 797-900918-001 HELIUM UPC 50SCCM MFC 2 - 754-092082-002 BALL BEARING VAT 1 - 796-098651-001 HIGH PERFORMANCE VAUUM GREASE10MG 1 - 660-093818-002 BIAS GEN 4.0 MAHZ 2-5KW 1 - 810-441976-002 ASSY PCB 1 - 866-360231-012 PENDULUM VALVE 3 - 605-094988-001 ASSY PCB LASER 1 - 853-492319-001 TM VME 1 - 715-330825-006 LNR,CHMBR,AL,EXTND,ALLI 6 - 715-330180-010 ELCTD,BOT,FXD GAP ESC,LOW TEMP 5 - 734-000663-001 O-RING 1-3/4 ID X 1/8 V 6 - 715-012244-001 SHIELD BELLOWS INNER GATE 6 - 734-009013-001 O-RING 3/4 ID X 1/16 C/S VITO 6 - 734-005633-001 O-RING 1 7/8 X 3/32 51 - 742-007760-001 GASKET,RF (WIRE OVER ELAST)(1PC=1FT) 34 - 734-007461-001 O-RING 5.25 X 5 7/16 X 3/32 6 - 839-330423-001 WLDMT,NUPRO,MANO,ISO 1 - 715-330092-002 COV NUT BOT GAS FEED 6 - 796-095768-001 SHLD,SPLINTER,1K TURBO PMP 5 - 842-093390-040 KIT,REBUILD,LP VLVL 6 - 839-012255-001 BELLOWS INNER GATE 5 - 739-090783-001 CONTACT STRIP COPPER 3 - 734-061280-237 O-RING,VIT 2-237 5 - 796-091775-001 MILLIPORE, WAFERGUARD 2 4 - 734-092561-212 O-RING .139 DIA C/S FSI 35 - 796-000233-002 SEAL CENT. 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LAM RESEARCH 9400 Etcher/Asherは、半導体製造および医薬品生産のニーズに対応するために設計された最先端のプラズマエッチング/反応イオンエッチング(RIE)装置です。このシステムは、粉末や液体を作業領域から離れて移動させ、基板に負荷をかけるために使用される多軸ロボットアームに基づいています。このロボットは、エッチング処理を監視し、エッチングの適切な位置にリソースを配置するためにも使用されます。このユニットには、DCプラズマ源、プラズマ生成用のRF源、パワーマッチング用のRFマッチングネットワーク、特別なサンプルホルダーなど、多くの高精度コンポーネントが含まれています。DCソースは、エッチングまたはアッシング用の誘導結合プラズマを提供し、エッチングに必要な一定の安定したプラズマバーストを生成します。RFソースはエッチングに必要なエネルギーを提供し、RFマッチングネットワークはRF電力を必要なレベルに最適化および調整します。特殊サンプルホルダーは、エッチング中に基板を固定し、プロセスの均一性を確保するように設計されています。このマシンは高度に自動化されており、複数の基板を連続して異なるプログラムでエッチングするようにプログラムすることができます。また、シリコンウェーハ、単結晶クォーツ、二酸化ケイ素など、幅広い素材をエッチングすることができます。さらに、このツールは、最大厚さ400ミクロン、最小サイズ1。5×1。5 mmの基板が可能です。9400 Etcher/Asherは、高精度、高速、高信頼性を備え、最高の精度と精度でさまざまな基板を処理することができます。また、長期間にわたって非常に信頼性が高く、ライフサイクルコストも高いことが証明されています。独自の設計により、メンテナンスが容易になり、所有コストも低くなります。この資産は、半導体製造や医薬品製造に理想的な選択肢であり、優れたエッチング結果を達成するために必要なツールをユーザーに提供します。
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