中古 LAM RESEARCH 9400 #293814142 を販売中

LAM RESEARCH 9400は、LAM RESEARCHの最先端エッチャー/アッシャーです。9400は多目的で高性能な機器で、あらゆる種類のエッチングおよびアッシング用途を処理することができます。実証済みの9200プラットフォームに基づいて構築されたLAM RESEARCH 9400は、高度な多層オートメーション、高精度深度制御、および高度なデュアルチャンバー動作を活用して、スループット能力を向上させます。これは、ユーザーにあらゆるタイプのエッチングおよびアッシング・アプリケーション用の堅牢で信頼性の高いプラットフォームを提供します。9400は、プロセスチャンバーとパージチャンバーを備えたデュアルチャンバー設計を採用し、スループットを向上させます。このシステムは、自動化された多層制御技術を統合しているため、さまざまなエッチングおよびアッシング作業に最適です。LAM RESEARCH 9400は、エッチングとアッシングのプロセスを制御するために、LamShareソフトウェアパッケージを使用しており、操作が容易な直感的なインターフェースをユーザーに提供します。さらに、このユニットは、業界標準よりも高い最新の3軸位置精度を備えており、正確で反復可能な結果を得ることができます。9400は+/-0。25°の安定性の評価の顕著な温度の均等性を、自慢します。この機械はKOH、 H3PO4およびXeF2のエッチング剤の化学薬品と互換性があります。これは、シリコンとヒ素ガリウムの両方を含む任意の材料を処理することができます。LAM RESEARCH 9400はまた、均一なエッチング速度と制御層の力を提供し、一貫した結果を保証します。9400は環境に優しいツールで、エッチング性能の向上とエネルギーコストの削減に役立つゼロ圧力ポンプを使用しています。LAM RESEARCH 9400は、高度なUV （UV）プロセス制御によりエッチング精度を向上させ、高い精度と性能を必要とする製造環境に最適です。9400の高度な機能に加えて、加熱パージマニホールド、安全インターロック、手動緊急ガスシャットオフ、ETCHGUARD™安全資産など、さまざまな安全機能が組み込まれており、オペレータにさらなる安心を提供します。LAM RESEARCH 9400は、幅広いエッチングおよびアッシング用途に適した高度なエッチャー/アッシャーです。スループット性能の向上、高度な3軸位置精度、高均一な温度制御、幅広い安全機能を備えているため、高性能エッチングおよびアッシング作業に最適です。