中古 LAM RESEARCH 9400 #293814136 を販売中

LAM RESEARCH 9400は、高度なエッチング/アッシャー装置で、幅広い高度なエッチングおよびアッシング処理を可能にします。このシステムは、高速かつ正確なエッチング/灰プロセスを可能にする幅広いオンボードエッチングおよびアッシング技術を備えた高度なベベルウェハチャンバー設計を採用しています。このユニットには、優れた精度、高速度、最適な均一性および歩留まりを得るための水晶結晶マイクロバランス（QCM）が装備されています。このマシンは、高速で信頼性の高いジョブ制御のための洗練されたPCベースのコントローラを備えており、さまざまなパラメータのプロセスレシピがあります。このツールは、一度に100までのウエハで、2インチから200mmまでのサイズの範囲を処理するように設計されています。この資産は、プロセス結果を改善するために、専用の計測ツールなどの高度なアクセサリーの配列を利用しています。9400エッチャー/アッシャーを使用して、ドライエッチングや方向エッチングなどのさまざまなエッチング/灰プロセスを実行することができ、高いアスペクト比の塗りつぶしと接触穴、および両面加工プロセスを可能にします。ウェーハやマスク材料の幅広い用途に適しており、効率の向上とスループットの向上を実現しています。また、スケーラブル性が高く、バッチベースとシングルウェーハエッチング/灰の両方の処理が可能で、費用対効果の高いソリューションを実現します。この装置には、追加のガス源と独自の複数ステージプロセスを装備することができ、複雑なデバイスの最適な製造を可能にします。LAM RESEARCH 9400は、パワフルで直感的なソフトウェアプラットフォームであるMARK 5500ソフトウェアによってサポートされています。統合されたソフトウェアは、さまざまなアプリケーションに事前に定義されたエッチング/アッシュのレシピと、高度な材料データベースへのアクセスも提供します。このシステムは、酸化物の平面化やパッシベーションなど、さまざまな後処理機能でさらにサポートされ、プロセスの再現性を最大限に高めています。全体として、9400は高性能アプリケーション向けに設計された高度なエッチャー/アッシャーユニットです。このマシンは、幅広い基板およびアプリケーションに最適化された、堅牢で高精度なエッチング/アッシュプロセスを提供します。包括的なサポートソフトウェアと高度なプロセスツールにより、このツールは研究環境と生産環境の両方に最適です。