中古 LAM RESEARCH 9400 #293776309 を販売中

LAM RESEARCH 9400は、業界をリードするハイスループットバッチエッチャー/アッシャーであり、最も要求の厳しい生産要件に対して高い信頼性と堅牢性を備えて設計および製造されています。コンパクトで控えめなデザインで、あらゆる製造環境でパフォーマンスを最適化する小さなフットプリントを備えています。この装置は柔軟性が高く、高速エッチングとウェーハアッシングのためのさまざまなカスタムオプションが装備されています。これらには、プロセスチャンバーと圧力制御パネルの選択が含まれ、チャンバーごとに最大3つのエッチャー/灰があり、1つのシステムで最大のプロセス能力を提供します。フォトレジスト除去、表面平面化、材料エッチング、誘電エッチングなど、さまざまなプロセス技術に対応できます。このユニットは、LAM独自のLatticePro™高度な制御ソフトウェアを使用しており、エッチングと灰のレシピを正確に自動化し、高度なデータ収集とレポート機能を提供します。このソフトウェアは、さまざまなレシピおよびプロセス管理ツールによってサポートされているため、再現性と信頼性の高いプロセスを迅速に開発できます。このマシンは、安全スイッチ、エネルギー監視、緊急停止システムなど、さまざまな安全機能を提供します。このツールはまた、真空インターロックを使用してプロセスチャンバーと運転中のロードロックを保護し、リスクを最小限に抑え、プロセスの忠実度を高めるのに役立ちます。さらに、資産は、施設のイーサネットネットワークを使用してリモート監視することができます。このモデルは、ハイスループットエッチャー/灰と、ドーパントの活性化と拡散のための高速ウェーハ加熱システムの選択で、最大の性能のために設計されています。さらに、装置は最小限のメンテナンスのために設計されており、最適化されたプロセスチャンバー洗浄サイクルとガス圧力と流れの自己補償により、システムは信頼性が高く費用対効果が高くなります。要約すると、9400は包括的で信頼性の高いエッチャー/アッシャーであり、最も要求の厳しい生産要件を満たすように調整されています。高レベルの性能、柔軟性、コスト効率を提供するため、あらゆる産業用製造業にとって非常に魅力的な選択肢となります。