中古 LAM RESEARCH 9400 #293762518 を販売中

LAM RESEARCH 9400は、金属-有機化学蒸着（MOCVD）プロセスに使用される自動エッチャーおよびアッシャーです。これは、-20°Cから475°Cまでの温度でバッチまたはシングルウェーハ処理が可能です。高温での作業能力により、高品質の材料を迅速かつ効率的に堆積させることができます。この機械の大きなチャンバーは、最大12インチ、最大0。4インチの厚さのウェーハ処理を可能にします。9400は高度なユーザーフレンドリーなシステムによって制御され、人間工学に基づいたデザインで使いやすいです。このユニットには、ガス監視機や自動通気装置など、いくつかの安全機能が装備されています。拡散結合ポンピングチャンバーを使用しており、エッチングおよびアッシングプロセスでパフォーマンスを向上させます。LAM RESEARCH 9400には、プロセスを自動化し、レシピを最適化し、リアルタイムのフィードバックを提供する高度なソフトウェアモジュールも装備されています。このツールは、フッ素、ハロカーボン、炭化水素、硫黄、ハロゲンなど、さまざまなエッチングおよびアッシング化学ミックスを使用しています。また、無菌プロセスを処理することができ、製品品質の迅速なテストと検証を可能にします。アセットには、お客様のアプリケーションに応じて、2つまたは3つのプロセスモジュールが含まれます。最初のプロセスモジュールはエッチャーであり、ソースガスを堆積させ、ウェハをきれいにし、所望のエッチングとアッシングプロセスを適用するために使用されます。次に、2つ目のプロセスモジュールはアッシャーであり、残留物を除去しながら表面汚染物質の除去を容易にします。最後に、3つ目のモジュールは、ウェーハを搬送し、ウェーハをプロセスモジュール間で移動させるトランスポータです。9400には、専用のエッチングとアッシング、結合エッチング/アッシングまたはエッチング/補償など、いくつかの操作モードがあります。さらに、LAM RESEARCH 9400には、温度、圧力、流量、およびその他の動作パラメータを監視するための高度な制御および監視システムが含まれています。最後に、このモデルは、プロセス効率を向上させ、最高品質の結果を保証するために貴重なフィードバックを提供し、問題やエラーを警告する自己診断を行っています。