中古 LAM RESEARCH 9400 SE #9230784 を販売中

LAM RESEARCH 9400 SEは半導体生産に使用するために設計された高度なエッチャー/アッシャーです。その高い均一性と精度、モジュラーアーキテクチャと相まって、重要なエッチングアプリケーションに最適なツールです。LAM RESEARCH 9400SEは、2つの独立したプロセスチャンバーを備えており、並列プラテン設計で構成されており、さまざまなサイズの複数の基板を同時に処理できます。プラテンは、基板全体にわたってエッチングの均一性を最適化するために、手動またはプログラム制御下で調整することができます。9400 SEには、LAM RESEARCH独自のTO- DELTA™技術も搭載しており、エッチングの均一性、平面性、スループットを高めるためのプラズマの自動、動的制御を可能にします。直感的なユーザーインターフェイスと組み込みプロセス監視機能により、迅速かつ再現性の高いエッチングを実現します。9400SEは、重要なエッチング用途に20ミクロンの焦点イオンビーム（FIB）技術を利用しています。イオンと電子ビームを制御することで、エッチプロファイルとエッチング速度を最適化することができます。FIBユニットは、エッチング処理中に基板に様々なイオンを埋め込むことも可能です。さらに、複数のプロセスチャンバーにはすべて質量分析機能が装備されており、エッチングプロセス全体でプロセスガスの分析が可能です。LAM RESEARCH 9400 SEには、現場での洗浄機能も搭載されており、簡単かつ迅速な破片除去が可能です。また、信頼性の高い電源により、エッチャー/アッシャーの安全で一貫した動作を保証します。LAM RESEARCH 9400SEの堅牢な設計は、洗練された冷却システムによってさらに強化され、処理される基板の数に直接比例して有効性が高まります。9400 SEは、半導体業界に画期的なエッチング処理の革新をもたらします。そのモジュラープラットフォームは、費用対効果の高い商用ソリューションを提供する複数のエッチングアプリケーションをサポートしています。高性能と効率がシステムの重要な特徴であり、一貫した反復可能なエッチング結果を実現します。全体として、9400SEは信頼性と再現性の高いエッチング処理を提供し、最高レベルの信頼性を保証します。