中古 LAM RESEARCH 9400 SE #9226497 を販売中

LAM RESEARCH 9400 SEは、幅広いウェーハ処理アプリケーション向けに設計された最先端のエッチャーアッシャー装置です。LAM RESEARCH 9400SEは、優れたウェハハンドリングと再現性を提供するマルチチャンバーユニットで、優れた性能を発揮し、信頼性と汎用性に優れたシステムの1つです。9400 SEの中核は、誘導結合プラズマ（ICP）、ケミカルメカニカルプランアライゼーション（CMP）、リアクティブイオンエッチング（RIE）など、さまざまなオプションを備えたウエハエッチアッシャーです。9400SEの標準コンポーネントは、交互と単一のプロセスサイクルの両方にわたって効率的で高度なエッチングとアッシング機能を提供します。主要なエッチング/アッシングモジュールをサポートすることは、優れたウェハハンドリングと安全性を保証するさまざまなメカニズムです。LAM RESEARCH 9400 SEには3軸ウェーハモーションモジュールが搭載されており、X、 Y、 Θ軸のウェーハの動きを正確かつ反復可能にします。モーションは高解像度のステッピングモータによって駆動され、クローズドループのフィードバックシステムによって正確に制御されます。本体にはロードロックマシンも装備しており、高速なウェハローディングとアンロードが可能です。用具の内部圧力は適用条件に従って調節することができます。LAM RESEARCH 9400SEは、幅広い安全機能を備えて設計されています。これには、エッチング/アッシングプロセスを監視し、ウェーハおよびプロセスチャンバーへの汚染と潜在的な損傷を最小限に抑えるための統合残留ガス分析装置が含まれます。この資産には、リアルタイムの故障検出と修理を提供する自動故障検出および修理システムも装備されています。最後に、9400 SEは、イオン化放射、EMF、およびEMIの低レベルで一定の環境を確保する高度な静電シールド材料を備えたクリーンルーム動作用に設計されています。9400SEは、あらゆる種類のチップ製造プロセスの厳しい安全要件を満たしており、ウェハレベルで優れた均一なエッチングと熱均一性を提供します。高度な機能、高い再現性、均一性により、幅広いウェーハエッチング処理に最適です。優れた性能、信頼性、安全性を備えたLAM RESEARCH 9400 SEは、強力なウェーハ加工および生産ツールです。