中古 LAM RESEARCH 9400 PTX #293767943 を販売中

LAM RESEARCH 9400 PTXは、ソリューションベースのディーププラズマエッチングおよびアッシングアプリケーションを提供するエッチャー/アッシャーです。最高のアスペクト比の精密構造と、優れたプロセス再現性を備えた深いクリティカルエッチングを処理するように設計されています。これにより、製造プロセスのスループットと歩留まりが向上し、材料の最高品質が保証されます。LAM RESEARCH 9400PTXは、1時間あたり最大500ウェーハ以上のスループットを提供し、幅広い大量製造アプリケーションに適しています。この装置は、単一または複数のターゲットを単一のチャンバーで処理するために構築されており、柔軟性と生産性の向上を可能にします。LAM RESEARCH 9400 PTXの先進的なプラズマ化学には、高度な均一性と再現性を提供し、廃棄物の量を最小限に抑える独自のパルスプラズマ技術が含まれています。システムの高度なプロセスレシピ開発方法は、0。5 μ m以上の精度でプロセス制御を提供します。9400 PTXはまた、業界で最高の均一性と実行時の再現性を提供します。さらに、9400PTXは、プロセスの安定性を可能にし、ウェハレベルの温度制御をサポートする統合チャンバ設計を備えています。精密ウェーハトランスポートユニットは、最大4インチのバッチサイズで、正確で反復可能な動きを保証します。機械のツールとレシピアクセスは、エンジニアに柔軟性を提供するオンボードコンピュータによって有効になり、製品を正確かつ確実に処理することができます。チャンバーのメンテナンス機能、改良された安全プロトコル、およびクローズドループのプロセス制御は、全体的な運用コストを削減し、プロセスガスを最も効率的に使用するのに役立ちます。LAM RESEARCH 9400 PTXはまた、使いやすい直感的なプラットフォームを誇り、ユーザーにエッチツールの完全な制御を提供します。また、分析のためのデータを簡単にエクスポートし、トレンドや複数のレシピのためのデータを格納することができますデータ管理ソフトウェアが提供されています。LAM RESEARCH 9400PTXエッチャー/アッシャーは、複雑な構造の精密ディープエッチングとアッシングのための比類のないプロセス精度と再現性を提供します。その先進的なプラズマ化学と統合チャンバー設計により、幅広い量産に最適な資産となっています。9400 PTXは、信頼性と正確なエッチングとアッシングプロセスに最適です。