中古 LAM RESEARCH 9400 DFM #9238153 を販売中

LAM RESEARCH 9400 DFM （Deep Feature Etch and Asher）は、高度な半導体デバイス製造の急速に変化する要求に対応するために設計された最先端のエッチングおよびアッシャーソリューションです。高機能でありながらコストパフォーマンスに優れた堅牢なエッチャー/アッシャーにより、多種多様な材料の精密エッチングと表面洗浄が可能です。9400 DFMは、実績のある堅牢なPI/PID制御や、精密なプロセス再現性を可能にする高度なフィードフォワード機器など、堅牢なハードウェア構成により優れたプロセス信頼性を提供します。LAM RESEARCH 9400 DFMの優れた指向性エッチング機能は、比類のないプロセスジオメトリと表面品質を提供し、イオンビームベースのエッチングは、幅広い構造や形状において比類のない精度と制御を提供します。9400 DFMには、完全自動安全シャットダウンシステム、多段式統合熱管理環境、クイックリリースサポートツール、完全統合ロードロックユニットなど、さまざまな高度なハードウェア機能も含まれています。これにより、プロセスの安全性と信頼性が確保され、高い歩留まり結果と再現性のあるプロセス性能をユーザーに信頼させることができます。LAM RESEARCH 9400 DFMには、パーティクルトラップ、コンタミネーションシールド、ポストエッチング非接触画像機能などのオプションのアドオンモジュールも多数搭載されており、ユーザーは時間の経過とともにニーズが変化するにつれてマシンの機能を拡張できます。9400 DFMの高度な機能と堅牢な構成により、高度な半導体デバイス製造アプリケーションに最適です。このエッチャー/アッシャーは、速度、精度、および信頼性の高いパフォーマンスの組み合わせで、最も複雑なプロセス要件にも取り組むことができ、ユーザーはデバイスの製造を次のレベルに引き上げることができます。