中古 LAM RESEARCH 9400 DFM #9207998 を販売中

LAM RESEARCH 9400 DFMは、高度なウェーハ製造要件の厳しい要求を満たすように特別に設計されたエッチャー/アッシャーです。この装置は、伝統的な乾式および湿式エッチング工程の広い範囲、ならびに新しいエッチング/結晶成長および化学機械的研磨工程を可能にします。このシステムは、高度なプロセス制御ソフトウェアと最先端の光学パッケージを備えており、ハイエンドのウェーハ処理に優れた生産性と品質性能を提供します。このユニットは、平面寸法と3Dウェーハ寸法の両方でサブミクロンサイズと複雑な構造にまで機能をエッチングおよびアッシングすることができます。デュアル配信システムにより、スループットとユーザーの柔軟性が向上します。また、高度な温度制御および熱除去技術を備えた熱管理機能も備えています。9400 DFMには、薄膜成膜を強化するために特別に設計された高圧トランスデューサモジュールなど、さまざまなモジュールが付属しています。また、高温蒸着モジュールを備えており、急速な熱処理を正確に制御できます。3チャンバーメタルアッシャーなどのAsherは、完全に自動化された操作のための自動ローディング/アンロード機能を備えています。LAM RESEARCH 9400 DFMは、反射計モニタリング（RPM）やレーザー干渉計などの高度なプロセス監視機能を備えています。この高度なデジタルツールは、エッチングの深さと温度を継続的に監視し、最適なプロセス制御を保証します。さらに、生産データを監視したり、潜在的なプロセスエラーのアラームをトリガーするための特別な制御システムも含まれています。このアセットには、拡張ゲート構造とフォトレジスト層の厚さの詳細な欠陥解析を提供するレイヤーメトロロジーモデルもあります。9400 DFMはまた粒子および汚染物のレベルを監視し、ろ過する粒子検出装置を含む高度の追跡技術を提供します。これにより、歩留まりとプロセスの結果が改善されます。このシステムは最適な計測用に設計されており、統合されたコントロールパネルにより手動操作が可能になり、柔軟性が向上します。LAM RESEARCH 9400 DFMは、高精度加工プロセスのための幅広い高度なエッチング要件に対応できる汎用性の高いエッチャー/アッシャーです。このユニットは、高度なプロセス制御機能と、半導体加工で優れた生産性と品質性能を提供する自動モジュールを備えています。さらに、高度な監視機能により、優れたプロセス制御と歩留まりの結果が保証されます。