中古 LAM RESEARCH 9400 DFM #9011879 を販売中

LAM RESEARCH 9400 DFMは、高精度なパターンを一貫した結果で作成するために使用される高度なエッチャー/アッシャー技術です。リソグラフィとエッチング/アッシング技術の利点を組み合わせた設計で、生産性を最大限に高め、優れた結果をもたらします。この装置は、プロセスを合理化し、迅速かつ効率的に結果をもたらす機能を備えて設計されています。9400 DFMは、クローズドループ、ロボットインターフェイス、高スループット、幅広いプロセスオプションを備えた、コンパクトながらフル機能のシステムです。ステージバイステージパターニングを備えた高度な垂直リソグラフィーユニットと、ナノメートルスケールの結果を再現可能な精度で達成できる強化されたフィールドスパッタリングマシンを備えています。また、選択可能なステップ高さと取り外し可能な基板チャックを備えた平面化により、工具の出し入れが容易になります。LAM RESEARCH 9400 DFMは、薄膜厚、プロファイル厚、フィルム組成などの薄膜特性を測定するさまざまな光学モニタを備えた非接触In-Situおよびポストプロセスのエンドポイント検出を提供します。これにより、エッチング/アッシングのすべての段階で高精度と精度が保証されます。このアセットは、フォトリソグラフィや誘電性ハードマスキングなど、さまざまなプロセスにも使用できます。9400 DFMは、優れたエッチング性能とは別に、イーサネット、USBまたはTCP/IPプロトコルを使用した信頼性の高い無線通信も提供します。これにより、より迅速なデータ転送と自動結果のロギングが可能になります。さらに、このモデルはプログラムが簡単で、ユーザーが特定の要件に合わせてプロセスをカスタマイズできるようにするための一連のソフトウェアツールが付属しています。LAM RESEARCH 9400 DFMは、エレクトロニクス製造、半導体包装、医療機器製造、MEM、光学部品など、幅広い産業に適しています。半導体製造業界に最大の生産性と信頼性をもたらす信頼性と効率性の高い機器です。