中古 LAM RESEARCH 9400 DFM #293764229 を販売中

LAM RESEARCH 9400 DFMは、半導体デバイス製造用に設計されたウェットプロセスエッチング/アッシング装置です。これは、プロセス性能の向上、総所有コストの低減、汚染の低減、安全性の向上を目的とした、完全な先進技術を備えています。9400 DFMシステムはモジュラー設計で構成されており、幅広い技術とプロセスアプリケーションを特長としています。このユニットには、完全に統合されたイメージング、温度制御、モニタリング、およびマスフローコントローラ（MFC）が含まれています。これらのコンポーネントを組み合わせることで、一貫した成膜速度を実現し、高品質で再現性のあるエッチング/アッシングを実現します。LAM RESEARCH 9400 DFMのマルチゾーン設計により、プロセスの各段階で最適な熱制御が可能です。DFMには、複数のチャンバーと高速サイクルタイムの同時開発を可能にするユニークな機能も含まれています。9400 DFMマシンは、より高いエッチング選択性、改善された均一性、および改善されたプロセス性能を可能にするデュアル蒸気配信ツールを備えています。また、ウェーハ表面の温度制御を向上させる専用のウェーハヒーターも備えており、高品質で高度なプロセスデバイスを製造するために不可欠です。このモデルには、オプションのエッチング化学供給用のウインドウウェハエステルポートと、等方性エッチングを改善するためのオプションの水素アノードも含まれています。LAM RESEARCH 9400 DFMのプラットフォームには、3800個のコントローラ機器と、プロセスオートメーション用の一連のモジュールが含まれており、再現性のあるプロセスと追跡可能なデータを保証します。プロセスレシピは、データベースに保存され、リモートからアクセスし、システムのOPCサービスから直接制御することができます。9400 DFMは、プラズマ誘発粒子汚染の可能性を低減し、プロセス性能をさらに向上させるために、in-situクリーニングおよび過圧保護技術を使用して設計されています。結論として、LAM RESEARCH 9400 DFMは高性能のために設計されており、高度なデバイスおよびマイクロエレクトロニクスプロセスの製造に最適なソリューションです。柔軟な構成、最適化された温度制御、統合されたイメージング、ユーザーフレンドリーなパラメータ、高速サイクルタイム、高度なプロセスオートメーション、および不純物保護をユーザーに提供します。