中古 LAM RESEARCH 853-012123-001-G-230D #9143212 を販売中

LAM RESEARCH 853-012123-001-G-230Dは、ウェーハ加工およびデバイス製造用に設計された高度なエッチング装置です。化学、レーザー、熱技術を組み合わせて、カスタムパターンのレイヤー、複数のレイヤー、厚いフィルムなどのウェーハをエッチングまたはパターン化します。853-012123-001-G-230Dシステムは100-500mmウェーハをパターン化することができます。ウェーハやフォトレジスト層の正確なアライメントを実現する高精度な光学ユニットを備えています。アーキテクチャは、低コストで信頼性の高いエッチングおよびアニーリングプロセスを提供するように設計されていますが、多くのアプリケーションのプロセス要件に適合する機能を備えています。LAM RESEARCH 853-012123-001-G-230Dの主なエッチングおよびアニール機能は、高度なレーザーシールド技術です。このマシンは、エッチングおよびアニールに使用される高エネルギービームからレーザーおよび熱保護を可能にするように設計されており、必要なウェーハパターニングを提供します。各レイヤーの正確なパターニングを確保するために、このツールには正確な光学アセットがあり、ボール追跡とアライメントが可能です。さらに、このモデルはプロセスの均一性を向上させるように設計されており、静電気と磁界の両方を提供して、ウェーハパターンや材料をより良く制御します。エッチングプロセス自体には、853-012123-001-G-230Dは2つの別々の技術を利用しています。1つ目はウェットエッチングプロセスで、ウェーハ表面のパターンに化学物質を使用します。2つ目は、表面をエッチングするために気体プラズマを使用するドライエッチング工程です。これにより、従来のエッチング方法と比較して高いレベルのパターニング精度と速度を実現します。さらに、エッチング処理を強化するための温度制御機能も備えています。LAM RESEARCH 853-012123-001-G-230Dシステムは、粒子からの汚染のリスクを低減するために専用のろ過ユニットを備えています。この機械は、ツールに入ることができる空気中の粒子や塵の量を減らします。さらに、エッチング資産には統合された監視システムがあり、オペレータはエッチング工程をよりよく監視し、品質と精度を確保することができます。最後に、このモデルは、加工中に発生する高温から部品を保護するための強力な冷却装置を備えています。全体として、853-012123-001-G-230Dシステムは、ウェーハの高精度な表面エッチングとアニーリングを提供するように設計されています。これは、高度な技術、強力なろ過および冷却システム、および最大のプロセス精度と信頼性を確保するための専用の監視機能を備えています。