中古 LAM RESEARCH 852-030038-601 #293661559 を販売中

ID: 293661559
Lower reaction chamber.
LAM RESEARCH 852-030038-601エッチャー/アッシャーは、半導体業界で部品製造に使用されるツールです。これは、プラズマ処理ツールの一種であり、エッチャーとアッシャーの組み合わせです。半導体ウェーハの表面から不要な材料を除去するために使用されます。これは、不要な層をエッチングするためにイオン化ガスと不動態化ガスの組み合わせを利用してこれを行い、アッシャーは残留物を排除して表面をきれいにするために使用されます。852-030038-601エッチャー/アッシャーは、高精度かつ高い再現性で動作できます。これにより、高品質の半導体部品を正確な設計公差で製造することができます。機械はまた多目的なプロセスレシピを持ち、出力を変えること、エッチプロセス速度を減らすこと、等のような容易に調節可能なプラットホームの特徴はできます。これにより、幅広いエッチングプロセスに適しており、最適なプロセスレシピの最適化に適しています。このエッチャー/アッシャーは、高度なプロセッサと自動機能を備えており、信頼性と一貫した結果を提供します。これは、ガス濃度を制御し、均一な材料除去を確保するために不可欠である専用のガス分配システムを備えたマルチチャンバー設計を備えています。さらに、LAM RESEARCH 852-030038-601にはマルチビームパラレルエッチャーシステムが含まれており、エッチングされたフィーチャーの正確な形状とプロファイル制御が可能です。エッチャー/アッシャー852-030038-601、チャンバーパージや圧力センサーなどの安全機能を備えています。エッチングプロセス中の適切な動作圧力を確保し、チャンバーの過剰加圧を防止するためにこれらの作業。これにより、人員の安全とデバイスの保護が保証されます。また、ウェーハ表面にわたって安定したプロセス温度を維持するためのアクティブ温度制御も備えています。このエッチャー/アッシャーは、効率的で高速なエッチングプロセスを提供することができます。また、高度なコンポーネントと自動化された機能により、サイクルタイムと無駄を削減することができます。エッチングとアッシャープロセスを組み合わせることで、全体的なコストとサイクルタイムの両方を削減できます。LAM RESEARCH 852-030038-601エッチャー/アッシャーは、半導体業界にとって信頼できるツールであり、高品質で費用対効果の高い部品の製造に最適です。
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