中古 LAM RESEARCH 852-011061-103 #293661544 を販売中

LAM RESEARCH 852-011061-103は、生産プロセス向けに設計されたエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、酸化物エッチング、フォトレジスト除去、プラズマ洗浄など、幅広い用途に対応できます。852-011061-103には専用のローディングアームがあり、単一のプロセスチャンバーで動作するため、複数のウエハを効率的かつ同時に処理できます。このユニットは、厳密なプロセス制御を提供するように設計されており、高い再現性を備えた精密なエッチングプロファイルを実現することができます。精密なプロセス結果を得るために、このマシンは、登録用のメカニカルビジョンツールやフライバイアイ部品位置決めアセットなど、さまざまな高精度モーションコントロールシステムを備えています。このモデルには自動積み下ろしステーションが装備されており、インラインローダーが標準装備されているため、部品の手動処理を必要とせずに連続運転が可能です。また、プロセスチャンバー蓋に最適な温度を保持する温度制御システムを搭載し、動作中の安定性を維持します。さらに、パーティクルモニタリングユニットを備えており、存在する可能性のある粒子や汚染物質を検出します。LAM RESEARCH 852-011061-103は、エンクローズドエッチャーチャンバーで構築され、低温、低消費電力の真空を備えています。この真空は、ディープエッチング処理と高いコンフォーマルエッチング処理が可能であり、高い選択性と正確な機能を備えたプラズマエッチングが可能です。また、幅広い自動スイッチングガスシステムを備えており、生産工程のさまざまなステップで複数のガス源を自動的に切り替えることができます。さらに、852-011061-103は圧力制御システムと圧力制御モニターを備えており、処理中のプラズマの安定性を確認し、安全で信頼性の高いエッチングを保証します。このツールはまた、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスで設計されており、ユーザーはパラメータを設定し、レシピを定義し、資産のパフォーマンスを安全な距離から監視することができます。LAM RESEARCH 852-011061-103は、業界標準の結果を提供するために設計された信頼性の高い効率的なエッチングモデルです。堅牢な設計、精密な制御、幅広い機能を備えたこの装置は、高い精度と再現性を必要とするあらゆる製造プロセスに最適です。