中古 LAM RESEARCH 839-101612-883 #293664890 を販売中

LAM RESEARCH 839-101612-883 etcher/asherは、電子機器製造用に設計された高度な加工ツールです。これは、高信頼性であり、単一のチャンバーでさまざまなエッチングおよびアッシング処理を実行することができます。この機械は、誘電体、SOG、またはポリイミドエッチングおよびアッシングプロセスにも適しています。効率的な設計により、839-101612-883は単一の処理チャンバでフラットウェーハおよび活性化ウェーハプロセスを実行することができます。この装置には、柔軟性と安定性を備えた複数の電源が装備されており、ダウンタイムを最小限に抑えてプロセスを正確かつ迅速に最適化できます。LAM RESEARCH 839-101612-883は、精密な圧力および温度制御により、エッチングおよびアッシングプロセスを安全かつ信頼性の高い方法で実行できます。このシステムは、CCDカメラを使用してプラズマを狭い領域に集中させることもでき、各プロセスの全体的な結果を向上させることができます。このユニットには、頻繁な基板交換を容易にするための自動ローディング/アンロード機も装備されています。メンテナンスに関しては、最小限の労力839-101612-883必要です。このツールは、問題を監視し、問題が発生した場合にエラーメッセージを表示する自己診断アセットを備えています。機械にまた増加の生命および性能のための自動クリーニングプロセスから成っている自己維持の設計があります。全体として、LAM RESEARCH 839-101612-883は優れた性能と稼働時間の信頼性を提供する高度なエッチャー/アッシャーです。誘電体、SOG、ポリイミドエッチング、アッシングなどの各種エッチングやアッシングに適しています。また、温度と圧力の精密制御と、頻繁な基板交換を容易にする自動ローディング/アンローディングモデルも備えています。最後に、装置はまた最高の信頼性のための自己診断および自己維持の設計を提供します。