中古 LAM RESEARCH 839-019090-577 #293670008 を販売中

LAM RESEARCH 839-019090-577は、デバイス生産を強化するための先端材料エッチング用に設計された化学的補助反応イオンエッチャーです。薄板にされた水晶装置の壁が付いている有効な超低電力操作を特色にし、他のエッチングソリューションのほんの一部の費用で優秀な性能を可能にします。これは、低圧（1。5〜2。5 Torr）から高圧（最大30 Torr）まで、幅広いプロセスパラメータ内でエッチング動作を行うように設計されています。839-019090-577はまた、精密な材料沈着の配信を可能にするマルチゾーン化学配送システムが装備されています、それでも瞬時にさまざまなプロセス条件に適応する能力を維持しながら、。エッチャーはまた、プラズマ推進ユニットを備えており、迅速なエッチングスループットと超高プラズマ密度を可能にします。これは高圧動作と相まって、エッチング工程の高精度な制御を可能にし、変化するプラズマや化学パラメータの複雑さを軽減します。さらに、LAM RESEARCH 839-019090-577は、さまざまなサイズの石英片、ヒートシールド、ウェーハキャリアなどの幅広いアクセサリーを提供しています。接触およびエッチング時間、エッチング圧力、プラズマ反応物の流量と組成などのプロセスパラメータを簡単に調整することができ、優れた均一性と再現性を備えた幅広い基材をエッチングすることができます。エッチング性能も、長い加工時間を経ても、エッチングの均一性と再現性を最大限に発揮します。839-019090-577は、高アスペクト比の接触穴、穴による装置、トレンチエッチングなどの先端材料エッチング用途に最適です。自動化された設定プロセスにより、繊細な石英システムに損傷を与えることなく、エッチャーを迅速かつ簡単にセットアップできます。LAM RESEARCH 839-019090-577は、さまざまな高度なエッチング用途に最適で、市場で入手可能な他のエッチングソリューションのほんの一部のコストで優れた性能を提供します。その高圧動作とマルチゾーン化学配送機の精度は、迅速な転換、均一性、および精度を必要とするエッチング処理において信頼性の高い選択肢となります。