中古 LAM RESEARCH 715-05115-001 #293661546 を販売中

ID: 293661546
ウェーハサイズ: 8"
Wafer assembly, 8" Cut wires.
LAM RESEARCH 715-05115-001は、さまざまな材料を処理するために特別に設計されたエッチャー/アッシャーです。この機械は、物理的および化学的手段の組み合わせを利用して、表面から材料を層ごとに除去します。それは材料をセットの温度に最初に加熱することによって働き、それから材料を壊すために高圧で表面にフッ素ベース、塩素ベース、および/または酸素ベースのような専門のガスおよび/または化学試薬が注入されます。熱と化学物質は表面の腐食とエッチングを引き起こし、元の表面からきれいで正確な表面を作り出します。このエッチャー/アッシャーは、プラスチック、ステンレス鋼、アルミニウム、タングステン、モリブデンなど、さまざまな材料で使用できます。715-05115-001はバッチレベルのオートメーションを利用し、最大6ポンドのプロセス負荷を処理できます。また、排気ガス封じ込めに使用される真空装置も備えています。プロセスの再現性と精度を確保するために、システムは再現可能なスキャンユニットと再現可能なプロセスガス配送システムと統合されています。さらに、オペレータはエッチング処理中にオブジェクトの表面状態を監視し、コンピューター制御機を介して必要な調整を行うことができます。LAMの研究715-05115-001は産業品質管理および処理の条件のために設計されています。温度、圧力、材料特性をモニタリングする各種センサを搭載しています。これらのセンサは、プロセス要件に合わせた最適なエッチング条件の自動選択を可能にします。このエッチャー/アッシャーにより、エッチングの進行状況を自動的に監視することができ、エッチングの進行に合わせてオペレータが必要な調整を行うことができます。このツールには、精密なプロセス制御のための調整可能なレーザーフィードバック資産もあります。715-05115-001は、密閉されたチャンバーや排気モデル、排気から潜在的に危険な材料を除去する発煙スクラバーなどの高度な安全機能も備えています。また、潜在的な事故や危険を防ぐために非常停止ボタンとシャットオフ弁が装備されています。LAM RESEARCH 715-05115-001は、多様な材料を正確かつ迅速に処理するために設計された信頼性の高い効率的なエッチャー/アッシャーです。その高度な機能は、工業加工および品質管理アプリケーションに最適です。
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