中古 LAM RESEARCH 690 #9238723 を販売中

LAM RESEARCH 690は、スルーウェーハプラズマエッチング用に設計されたエッチャー/アッシャーです。半導体製造プロセスでよく使用されており、高度なプロセス工程で優れた精度とスループットを達成することができるため、非常に人気があります。690は、エッチングヘッドを備えた多軸ロボットアームを備えており、完全にプログラム可能な高さと傾きの動きを備えています。これにより、ヘッドは複雑な座標セットを通過することができ、結果としてエッチングの精度と均一性が向上します。ヘッドは0〜90度の広角で、平面フィルムと傾斜フィルムの両方に設計されています。エッチングチャンバーは、最適なプラズマ密度を提供するように設計されています。これには、高密度プラズマストリームの作成を担当する内部集中型シャワーヘッドや、エッチング工程を正確に制御できる電子調整可能なガス注入システムなど、いくつかの機能が含まれています。LAM RESEARCH 690は高度なプロセス制御ソフトウェアも備えており、エッチング処理を正確に制御できます。これには、プロセスパラメータの最適化、ガス供給の自動テスト、エッチング層のリアルタイム監視、プロセス異常の自動アラートなどの機能が含まれます。これにより、プロセスがスムーズかつ効率的に実行されるようになります。また、690は、インターフェイスボード、コントローラ、プローブなどのアクセサリーや機能の広い範囲を提供しています。これにより、特定のアプリケーション用にシステムをカスタマイズできます。このシステムは非常にエネルギー効率が高く、総所有コストも低くなっています。全体として、LAM RESEARCH 690は、多種多様な機能、高精度、低所有コスト、優れたエッチング機能により業界をリードしています。半導体業界の高度なプロセス工程に最適です。