中古 LAM RESEARCH 690 #9151419 を販売中

LAM RESEARCH 690は、さまざまな構成オプションを備えたカスタムのマルチチャンバーシステムで、エッチングとアッシングのニーズに高度な機能を提供します。マルチステーションプロセスで基板を正確かつクリーンにエッチングするように設計されています。690は、ロードロックチャンバー、メインエッチングチャンバー、および調整可能な高さの製品チャンバーで構成されています。LAM RESEARCH 690のロードロックチャンバーは、2つの独立したチャンバーを備えた2ドア構成で構成されており、繊細な基板の積み降ろしに柔軟性を提供します。ロードロックチャンバーは、アウトガスを最小限に抑え、全体的なシステムプロセスの精度を高めるために、厳しい仕様に構築されています。690の主要なエッチング室は圧力、温度およびガス配達のような調節可能な変数と設計されています。このチャンバーは、トランジスタエッチングおよび高度な材料蒸着プロセスに最適な環境を提供します。LAM RESEARCH 690は、2つのガスを同時に正確に制御するデュアルガス供給源を備えており、複数の基板にわたって均一なプロセスを保証します。さらに、690は特許取得済みのウェーハテーパー制御システムを誇り、プロセス変更時にエッチングパラメータを正確かつスムーズに調整できます。LAM RESEARCH 690の調節可能な高さのプロダクトチャンバーは、さまざまな基板に必要に応じてポストエッチング/アッシュ操作を上下に移動させることができます。このチャンバーには自動ホットステージプレートも内蔵されているため、ターゲット基板はメインエッチングチャンバーから転送されるのと同じ位置にあります。自動化された版はまた基質の有効で、堅いシールを提供する真空の選択を含んでいます。全体的に、690は正確な仕様と調整可能なパラメータで構築された強力なエッチャー/アッシャーです。ロードロックチャンバー、メインエッチングチャンバー、調節可能な高さの製品チャンバは、複数の基板に究極のプラットフォームを提供し、高品質の結果を一貫してオンタイムで提供します。高度な制御と柔軟性を求める人のための理想的なツール彼らのエッチングとアッシングのニーズ。