中古 LAM RESEARCH 590 #9275402 を販売中

LAM RESEARCH 590は、誘電体、金属、酸化物のアプリケーションに最適な高度なエッチング装置です。このシステムは、バッチとインラインの両方の生産に適した信頼性の高い効率的なエッチングプロセスをユーザーに提供するように設計されています。優れたプロセス性能により、590を使用してガラス、シリコン、金属などの幅広い材料をエッチングすることができます。LAM RESEARCH 590は、さまざまなプロセス圧力と温度に対応するように設計された堅牢なプロセスチャンバーを備えています。このユニットには、エッチングレートの精密制御に最適な、大規模な統合ソースプレート構成が付属しています。組み込みのプロセスアルゴリズムとプロセス最適化機能により、リアルタイムでプロセスパラメータを調整できます。このマシンには、レシピの設定、プロセスパラメータの入力、エッチングの進行状況の監視に使用できる高度なユーザーインターフェイスが含まれています。590は、最大350Wの電力をエッチング対象材料に供給できる高性能HF RFジェネレータを搭載しています。独自のデュアルビューオプティカルツールを使用して、ターゲットとなるマテリアルインタフェースのエッチング速度を監視し、ガス流量アセットを使用することで、ガスの配送とプロセスフローを正確に制御できます。このモデルは、エッチングと蒸着速度の両方を統合した精密制御により、最高レベルのプロセス再現性を提供するように設計されています。LAM RESEARCH 590は誘電体と金属の蒸着の均一性を高め、欠陥のないデバイスを提供します。この装置は低温負荷ロックを備えており、粒子発生を最小限に抑え、プロセススループットを最大限に活用します。高度なプロセス制御とプロセス最適化機能を備えた590は、誘電体、金属、酸化物材料のエッチングと蒸着に最適なシステムです。