中古 LAM RESEARCH 590 #9232890 を販売中

LAM RESEARCH 590は、ウェーハ、基板、PCB、金属、プラスチックなど様々な材料の精密エッチングおよびアッシング用に設計された高性能エッチャー/アッシャーです。590は、高解像度モノクロメータと高度なプロセス制御システムを備えた完全自動化された機器です。LAM RESEARCH 590は、使いやすい多層プリプログラミング設定により、スループットを最大限に高めるように設計されています。590は、オペレータの介入を最小限に抑え、信頼性の高い結果を実現するための簡素化されたユーザーインターフェイスを備えた小型フットプリント統合サブシステムを利用しています。LAM RESEARCH 590は、幅広い基板サイズに対応できるシングルウェーハ処理プラットフォームです。2つのプラズマ源、2つの真空ステージ、温度計測を内蔵したマルチポイントセンサーとサンプルプラテンを備えています。さらに、590には補助ガス供給ユニットが装備されており、プロセスガスの選択肢を提供しています。LAM LAM RESEARCH 590の高度なプロセスコントロールマシンは、ターゲット表面の高精度エッチングとアッシングを保証します。内蔵のPID調整により、590は、+/-0。001ミリメートルの許容範囲で層の厚さを設定する機能を含む、エッチングおよび灰パラメータの厳密な制御を維持するために最適化されています。さらに、LAM RESEARCH 590は、低サイクルタイム（最大15000ウェーハ/時間）と高均一バッチプロセスを実行できます。LAM 590は、信頼性と効率性を向上させるために設計されています。24時間365日のメンテナンススケジュールを備えており、障害を迅速に検出し、簡単なトラブルシューティングのための診断を提供できます。さらに、LAM RESEARCH 590は長期的なデータアーカイブ機能を提供し、ユーザーはプロセスの状態を時間経過とともに確認することができます。590は最高の生産性、正確さおよび操作効率を提供するように設計されています。高度なプロセス制御と自動化されたツールにより、精密エッチングとアッシングを必要とする生産要件に適しています。LAM RESEARCH 590は、マイクロエレクトロニクス、光電子、データストレージ、半導体デバイスのカスタムプロジェクトと大規模なバッチ生産のための信頼性の高いソリューションです。