中古 LAM RESEARCH 590 #9226293 を販売中

LAM RESEARCH 590は、今日市場で入手可能な最も先進的なエッチャーとアッシャーの1つです。この装置は、極めて精度の高い小さな部品を効果的にエッチングおよび/またはアッシャーするように設計されており、製造メーカーは複雑で正確な部品をタイムリーに製造することができます。このシステムは、Cl2またはO2プラズマソースを使用して機能し、部品の損傷を最小限に抑えて必要なエッチングまたはアッシング結果を作成します。このユニットは、従来のエッチングとアッシング方法に比べていくつかの利点を提供します。同じ実行でエッチングとアッシャーの両方が可能で、ダウンタイムを大幅に削減できます。この機械はパターンエッチングとアッシングも可能で、部品は特定の構成でエッチングおよび/またはアッシングすることができます。複雑で正確なパターンの部品を作成し、マイクロエレクトロニクスデバイスなどの高度なアプリケーションに最適です。このツールには、クローズドループ制御アセットも含まれており、時間、圧力、流れ、温度、およびその他のプロセス変数を監視および制御することにより、プロセスのパフォーマンスと再現性を最適化できます。このモデルには直感的なソフトウェア機器が装備されており、オペレータはプロセスを素早く簡単にカスタマイズし、ユーザーの要件に応じて結果を出すことができます。このシステムはまた、優れた柔軟性を提供し、ユーザーがいくつかのジョブ作成オプションから選択できるようになります。つまり、フォトレジストの有無にかかわらず、パターニングの有無にかかわらず、パーツをエッチングまたはアッシュすることができます。590は使いやすく、維持するように設計されています、容易にきれいなエッチングおよびローディングの部屋を、加えて汚染物から単位を保護するために加圧されたクライオトラップを組み込みます。機械はまたそれをいろいろな部品を作り出すために適したように30まで異なった部屋の調理法とプログラムすることができます。全体として、LAM RESEARCH 590は、最新の製造プロセスに理想的な高度な機能と機能を提供する優れたエッチャーおよびアッシャーです。複雑で正確な形状やパターンを作成できるだけでなく、ユーザーにさまざまなジョブ作成やカスタマイズのオプションを提供することができます。