中古 LAM RESEARCH 590 #9226108 を販売中

LAM RESEARCH 590 Etcher/Asherは、表面コーティングと修正のための材料エッチングと堆積のための多目的成膜ツールです。特許取得済みのプラズマ生成「ダイヤモンドウィンドウ」技術を使用して、精密なエッチングを作成し、金属表面を正確な仕様に設計および形状化することができます。これは、高いスループットと正確さを維持しながら、複雑な表面修正タスクを処理するための費用対効果の高いソリューションを提供するように設計されています。590は、ラボと製造環境の両方に収まるコンパクトなサイズを備えています。精密かつ再現性のある蒸着プロセスを提供し、高精度表面修正と地形調整の両方を容易にします。その主な特徴は、圧力と温度制御、エッチング速度と層の厚さの簡単な調整、迅速に可変ノズルサイズと様々な互換性のあるプロセスガスが含まれています。LAM RESEARCH 590には高性能ガスシステムが搭載されており、高性能な処理専用に最適化されており、複数のガス源や配送システムをサポートできます。エッチャーは、高純度材料だけでなく、ステンレスやアルミニウムなどの異なるブレンドプロファイルを持つ金属をエッチングすることができます。590はまた、高解像度マルチビューオプティクスシステムを備えており、沈着進行を迅速かつ正確に検出することができ、サンプル評価の必要性を排除します。LAM RESEARCH 590は統合された診断および制御システムの使用によって容易な維持および柔軟性を提供するように設計されています。このシステムには、デジタルヒーターを備えたマルチゾーンウェハチャック、高速炉、およびプロセスおよびコンポーネント制御用のプログラム可能なデジタルロジックが装備されています。さらに、その高度なソフトウェアアーキテクチャは、プロセス制御と最適化を可能にし、再現性と信頼性の高いパフォーマンスを保証します。590のユニークな特徴は、エッチングと蒸着プロセスが行われている間に基板テーブルを移動する機能です。これにより、プロセスの結果を正確に評価し、必要に応じてパラメータをリアルタイムで調整することができます。また、低所有コストを実現し、設備投資の削減、運用コストの削減、メンテナンスによるコスト削減を実現します。