中古 LAM RESEARCH 590 #293604251 を販売中

LAM RESEARCH 590は、半導体製造工程の高度なエッチャー/アッシャーです。非常に小さな機能の精密なエッチングとアッシングを極めて精密に提供するように設計されています。この装置は、ダウンタイムが低く、繰り返し可能で質の高いエッチング結果を提供するユニークな機能セットを統合しています。このシステムは、基板のステージとして機能する真空対応の2軸リニアフィーダを備えています。これらのフィーダは、生産速度を調整し、基板を正確に配置するために使用されます。590には、エッチングの正確な計画を提供する3つの高性能マニュアル/リモートスキャンステージもあります。LAM RESEARCH 590の高性能エッチングユニットは、ポリシリコンストリッピング、シリコンウェットスプレークリーナー、プラズマプラスを混合して基板から材料を除去します。このプロセスは、個別に調整可能なエッチングパラメータと高い生産率を備えています。機械はまたエッチングされた特徴から不必要な材料を除去するのに使用される複数の場所の灰の井戸を特色にします。590は、Quartz-Tube EtchやSelf-Width Etchなどのユニークな機能を提供します。これらのモードは、最小限のセットアップで複雑なパターンを迅速かつ正確に生成する機能をユーザーに提供します。LAM RESEARCH 590には、エッチング処理中に基板の位置を監視および調整するために使用される基板アライメント検出ツールもあります。このアセットを使用すると、エッチングが進行している間に生産性の率を調整することもできます。このモデルは、エッチング中の人員と基板の安全性を保証する高電圧クランプ技術を使用しています。装置に望ましいエッチングの結果を達成するためにユーザーによってプログラムすることができるいろいろ異なった調理法があります。これらのレシピは、メーカーからダウンロードしたり、ユーザーが開発したりすることができます。また、エッチング時間を短縮し、高品質な結果を生成することができるカスタムビルドのスクリプトとアルゴリズムの使用をサポートしています。結論として、590は信頼性の高い高性能エッチャー/アッシャーであり、正確で繰り返し可能なエッチング結果を提供するように設計されています。このユニットは、半導体製造のための最先端のシステムの1つになる強力な機能の配列を持っています。また、ユーザーフレンドリーなプログラミングインターフェイスと強力なカスタムレシピを備えており、ユーザーは最高レベルの安全性、正確性、スピードで可能な限り最高の結果を得ることができます。