中古 LAM RESEARCH 590 #293595902 を販売中

LAM RESEARCH 590エッチャー/アッシャーは、半導体製造で一般的に使用される高度な機器です。ケミカルウェットエッチング機で、幅1〜2000ナノメートルのエッチングが可能です。エッチングプロセスは、基板から材料を選択的に除去するために使用され、そのような基板上のパターン化された特徴の正確な形成を可能にします。590はエッチングとアッシングをサポートする幅広い機能を備えています。低エッチングに最適化されたドライエッチングチャンバーと、より高いエッチング率と優れたフィルムラインエッジ粗さ制御を可能にするデュアルレーザーマイクロウェーブプラズマエッチング技術を備えています。また、高度に構成可能なフロントエンドと統合されたRFバイアスモジュールも含まれています。高品質のエッチングを保証するために、自動圧力側プラズマ制御とエッチング時間を最適化する特許取得済みの制御装置を備えています。ステンレス製のウェットエッチングチャンバーには、金属エッチングジョブ用の電気蒸着モジュールが内蔵されており、選択性を最大限に高めています。さらに、さまざまな材料に適したエッチング環境のために、さまざまなプロセスガスや圧力をサポートすることができます。また、空冷式のRF発電機と精密なガス流量のためのガス混合パネルを備えています。LAM RESEARCH 590は、リアルタイムプロセスフィードバックにより、高度なプロセス制御および監視機能を提供します。強力な高レベルのコンピューター制御システムを備えており、ユーザーはすべてのエッチング処理を制御および監視できます。統合されたユニットには、安全な高速通信だけでなく、真空試験機、安全インターロック、エッチングガス搬送ツールなどの高度な安全システムが含まれています。590は、ウェーハエッチングとアッシングに優れた機械です。エッチングのサイクルタイムが速いため、優れた結果が得られ、半導体製造において貴重な資産となります。その高度な機能、堅牢なデザイン、使いやすさにより、LAM RESEARCH 590はエッチングとアッシングに最適です。