中古 LAM RESEARCH 580 #9268110 を販売中

LAM RESEARCH 580はエッチャー/アッシャー装置で、集積回路メーカーがエッチングおよびアッシュ化されたレイヤーをより効率的かつ正確に加工できるように設計されています。このシステムは、高度なレベルの検査、エッチング、および灰の技術のプロセスニュアンスで設計されており、多種多様な業界でのアプリケーションの高品質の生産を保証します。これは、リソグラフィ、エッチング、エッチバック、計測、および灰を含む複数のプロセスステップが可能な統合ユニットを提供しています。この機械は330 mm x 330 mmの大きな加工面積を持ち、直径500mmまでの幅広いウェーハに対応できます。580は、機能豊富で効率的で正確なモーションコントロール機能を備えており、位置、速度、および力制御を提供する高性能リニアモータによって駆動され、精度と信頼性の両方で最高のものを可能にします。自動化されたウェーハアライメントツールも含まれており、プロセス全体の精度と精度を向上させるように設計されています。この資産はまた、プロセスの柔軟性の最大値を提供するために、さまざまなエッチングおよび灰の化学物質を提供します。さらに、LAM RESEARCH 580には、OPCパターン処理、アークストライプ固有のソース、位置誤差訂正など、多くの独自のレシピとプロセスツールがあります。これらのツールは、エッチング精度とスループットの向上に貢献します。また、最先端の光学、静電容量、抵抗センサなどの高度な計測および検査ツールを組み込んで、ウェーハの品質を最大化し、廃棄物や再作業を最小限に抑えます。さらに、内部化学管理システム、不活性ガスのパージ、安全な封じ込めオプションなど、多くの安全性と環境機能を備えています。これらの機能は、安全で環境に配慮した操作を確実にするのに役立ちます。580は、さまざまなアプリケーションのプロセス要件を満たすように設計された信頼性の高い、機能豊富なユニットです。これは、使いやすく手頃な価格のリソグラフィ、エッチング、灰、および計測プロセスのステップを可能にする機能とツールのツールセットを提供することができます。