中古 LAM RESEARCH 571-065780-703 #293668173 を販売中

LAM RESEARCH 571-065780-703は、プラズマエッチング用途に特化したエッチャー/アッシャーです。このモデルは、エッチング速度と品質を最適化する純粋で低圧のプラズマを生成する効率的な20MHz発振器で高い性能を備えています。自己完結型の設計には、三極型の電子爆撃イオン源、プロセスチャンバー、高性能ガス分布ネットワークが組み込まれています。これは、エッチング領域上の圧力、温度、ガス分布の高い均一性のための高度なシングルポケット設計を利用しています。このモデルはまた、自己回避チャックと自動ウェーハ転送装置を備えています。この機能の組み合わせにより、幅広いプロセス条件でエッチング品質が向上します。571-065780-703はまた、2つの並列プロセスを同時に実行することを可能にする高度なデュアルチャンバプロセスチャンバーを備えています。この機能により、複数のプロセスを実行する際の効率的なスループットと品質とスループットの向上が可能になります。プロセスチャンバーには、プラズマからの保護シールドとして機能する熱バリアも含まれており、プロセス領域全体の均一な温度を確保します。プラズマによる加熱効果を低減するため、熱電冷却システムも付属しています。ユニット全体を低材料環境で囲み、エッチング効率と製品品質をさらに向上させます。LAM RESEARCH 571-065780-703には高度な制御ソフトウェアが搭載されており、最適なエッチング結果を得るためのプロセス制御とレシピ技術を自動化できます。このマシンは直感的なヒューマンマシンインターフェースを備えており、エッチングプロセスパラメータとレシピを効率的かつ正確に制御できます。さらに、この最先端の制御ツールにより、ユーザーは個々の生産ニーズと要件に応じてエッチングパラメータをカスタマイズできます。全体的571-065780-703は、高流量プラズマエッチング用途に最適なエッチャー/アッシャーです。その効率性、優れたプロセス制御、および幅広いエッチング条件で品質と均一性を保証する能力が認められています。