中古 LAM RESEARCH 571-065780-702 #293668180 を販売中

LAM RESEARCH 571-065780-702は、不揮発性エッチングおよび/またはクリーン処理用に設計された高性能マルチゾーンエッチャー/アッシャーです。この装置には、2つの独立した統合された高真空プロセスモジュールに加えて、複数のフルウェーハモナトミックおよび空圧ウェーハ処理機能が含まれています。モジュールには、エッチング機能とアッシャー機能の両方が含まれており、必要に応じてエッチング操作とアッシャー操作の間で迅速に変更できます。独立したプロセスモジュールは柔軟性とスループットを向上させ、各モジュールは最大2つのウェーハを保持することができ、エッチングとクリーンタイムを延長できます。各プロセスモジュールには、ロードロックチャンバー、基板搬送チャンバ、クライオエッチング/蒸着チャンバ、および高エネルギーのプラズマチャンバーが含まれています。トランスファーチャンバーは、標準キャリア上の1つの300mmウェーハに適合するように構成されています。キャリアは、他のウエハサイズに簡単に適応することができます。このエンジンには、プロセスの均一性と制御を強化するための複数のガス分布マニホールドが含まれており、プロセスの柔軟性を向上させるために最大4つのシールドガス源をサポートすることができます。エッチャー/アッシャーには、高品質のエッチングを製造するために必要な高真空性能を実現する超高バキュームポンプが装備されています。プロセスウィンドウは、プロセス制御システムを介して調整することができ、プロセス制御と均一性が向上します。LAM RESEARCHのシステムから期待されるように、高精度のウェーハ転送ユニットは滑らかで正確な動作を提供します。調節可能なウェーハポジショナーは、ウェーハ配置の高い再現性と精度を提供します。全体的に、571-065780-702はエッチングと加工のニーズの広い範囲のために設計された高度なマルチゾーンエッチャー/アッシャーです。高度なプロセス制御ソフトウェアとともに、プロセスの均一性、信頼性、およびスループットを向上させます。精密ウェーハ搬送機は優れた再現性と精度を保証し、広範囲のガス流通チャネルは正確なプロセス制御を保証します。高品質のエッチングを実現するための優れた選択肢であり、産業用途に強く推奨されています。