中古 LAM RESEARCH 496B #9268074 を販売中

LAM RESEARCH 496Bは、単結晶や多結晶ウェーハのエッチングやアッシングに使用されるエッチャー/アッシャーです。このプラットフォームは、パターン定義のためにフォトレジストなどのさまざまなフィルム層をエッチングし、酸化物の層の中に特定の構造を作成するために使用されます。このタイプのエッチャー/アッシャーは、電磁波を使用して原子炉室内の気体分子を励起し、分子の分解と反応を引き起こし、エッチングまたはアッシングのプロセスを引き起こします。496Bにステンレス鋼から成っている部屋があります時間の経過とともに腐食に対して抵抗力があるように設計されています。チャンバーはDC電源で駆動されます。このエッチャー/アッシャーは、正確で信頼性の高い反復可能なプロセス結果を提供するように設計されています。ウェーハは、チャンバー内のさまざまなフッ素系化学物質にさらされ、エッチング処理が可能であり、加工される特定の基材のニーズに正確に合わせて調整することができます。また、内蔵のガス監視装置や安全インターロックシステムなど、多くの安全機能を備えています。LAM RESEARCH 496Bは、直径12インチまでのウェーハのエッチング/アッシングが可能で、1バッチにつき最大8個のウェーハを処理できます。ウェーハをカセットからエッチャー/アッシャーに素早く移動させ、再び戻すことができる自動ウェーハ転送ユニットを備えています。機械にエッチング/アッシングパラメータのカスタマイズを可能にする直感的なソフトウェアが付いている制御コンピュータがあります。このエッチャー/アッシャーは、無駄やダウンタイムを最小限に抑え、プロセスの柔軟性と再現性を最大限に高めるように設計されています。このツールは、プロセスの正確性と再現性、および安全基準を確保するために、広範なテストと検証を受けています。496Bは、高い歩留まりと低い所有コストを確保するために、ラボグレードの精度と性能を提供します。