中古 LAM RESEARCH 490B #9112925 を販売中

LAM RESEARCH 490Bは、高性能エレクトロニクスの研究、開発、製造に使用するプラズマエッチャー/アッシャーです。このモデルは、さまざまな形状、サイズ、および材料の基板にスムーズでエッチングさえ必要なアプリケーションに最適です。直交、調整可能な電圧、非共鳴、全金属高周波イオン源を備えており、高速で均一なエッチングプロセスを生成します。LAM RESEARCH 490/Bは、基板の積載時間を短縮するための自動基板アライメントシステムと、プロセスの制御を強化するための幅広い制御パラメータを備えています。490Bは、タッチスクリーン端末から簡単に設定および操作できるように設計されています。490/Bは、厚膜の深いエッチングから薄膜の浅いエッチングまで、幅広いプラズマエッチング機能を提供します。金属、メガネ、ポリマー、セラミックスなど様々な素材をエッチングすることができ、多彩なセッティングが可能です。また、LAM RESEARCH 490Bは、高感度材料のエッチングや低温が要求されるプロセスに有用なオプションの低温プラズマエッチャー（LTPE）も提供しています。このモデルはまた、基板の周りに働くガスを均一に混合するために内部ミキサーを追加することで、エッチングの均一性を向上させます。LAM RESEARCH 490/Bは、炭素テトラフルオリド（CF4）、六フッ化硫黄（SF6）、酸素（O2）、アルゴン（Ar）、塩素（Cl2）など、さまざまな一般的なエッチング化学物質に使用できます。490Bにはクリーンルームの互換性もあり、敏感な場所でも安全に使用できます。安全を確保するために、システムは、双方向の絶縁、ガス検出、冷却システム、および複数の安全インターロックなど、さまざまな安全機能で構築されています。490/Bは、優れた性能特性を持つ製品を作成するための不可欠なツールです。高度なエッチング技術により、高速で精密なエッチングパターンを生成することができ、非常に高い再現性が得られます。幅広い機能、ユーザーフレンドリーな機能、安全機能により、LAM RESEARCH 490B数多くのアプリケーションに理想的なエッチャー/アッシャーです。